一种去光阻-NOMAL清洗台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种去光阻

【技术实现步骤摘要】
一种去光阻
‑
NOMAL清洗台


[0001]本技术涉及光阻清洗装置
，具体为一种去光阻
‑
NOMAL清洗台。

技术介绍

[0002]光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料，像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层，光阻通常使用在紫外光波段或更小的波长(小于400纳米)，例如DNQ在300纳米到450纳米间有很强的吸收，光阻有两种，正向光阻和负向光阻。
[0003]现有技术存在以下缺陷或问题：
[0004]1、光阻清洗装置光阻去除过程中，会加入超声装置来加速光阻去除反应，会使去光阻液中产生大量的气泡，导致光阻溶解不完全，形成光阻残留，影响去光阻的效果；
[0005]2、光阻清洗时需要在去光阻液中浸泡30分钟～60分钟，才能进行下一步去除工序，耗时较长，效率低，浸泡过程中去光阻液蒸发，消耗较多的去胶成本。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种去光阻
ꢀ‑
NOMAL清洗台，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种去光阻
‑
NOMAL清洗台，包括浸泡容器，所述浸泡容器内壁设置有安装筒，所述安装筒内壁设置有筒状支撑网，所述安装筒一侧设置有把手，所述浸泡容器一侧设置有脱气组件，且所述脱气组件包括箱体、安装框、过滤板和第二转轴，所述浸泡容器一侧内壁开设有出水口，所述浸泡容器一侧内壁开设有入水口，所述浸泡容器顶端设置有密封组件。
[0008]可选的，所述箱体固定连接于所述浸泡容器一侧外壁，所述箱体一侧外壁固定连接有低速电机，所述第二转轴设置于所述低速电机一端，所述安装框固定连接于所述第二转轴外壁，所述过滤板固定连接于所述安装框内壁。
[0009]可选的，所述密封组件包括密封盖和密封板，所述密封盖设置于所述浸泡容器顶端，所述密封板设置于密封盖内壁。
[0010]可选的，所述浸泡容器内壁开设有圆槽，所述安装筒两侧分别固定连接有第一转轴，且一侧所述第一转轴贯穿浸泡容器。
[0011]可选的，所述入水口一侧设置有抽水泵，所述出水口一侧内壁设置有阀门，所述箱体一侧设置有排气阀。
[0012]可选的，所述密封板顶端设置有丝杆，且所述丝杆贯穿所述密封盖，所述丝杆顶端固定连接有旋钮。
[0013]可选的，所述浸泡容器和箱体一侧外壁分别设置有密封圈，且所述密封圈分别设置于所述第一转轴和第二转轴外壁。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种去光阻
‑
NOMAL清洗台，具备以下有益效果：
[0015]1、本技术使用完之后的去光阻液通过抽水泵抽到箱体中，低速电机带动第二转轴转动，从而带动安装框转动，去光阻液中的气泡通过过滤板过滤出，通过排气阀排出之后，出水口处阀门打开，去光阻液重新流入浸泡容器，减少去光阻液中的气泡，避免气泡过多影响光阻的溶解，使光阻清洗装置更好的工作；
[0016]2、本技术通过转动把手，带动安装筒旋转，放入筒状支撑网中的元件随着筒状支撑网转动在去光阻液中移动，缩短浸泡的时间，提高光阻清洗装置的工作效率。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0018]图1为本技术结构示意图；
[0019]图2为本技术浸泡容器剖视图；
[0020]图3为本技术安装筒图；
[0021]图4为本技术安装框图。
[0022]图中：1、浸泡容器；2、安装筒；3、第一转轴；4、出水口；5、入水口； 6、把手；7、密封盖；8、筒状支撑网；9、旋钮；10、密封板；11、抽水泵； 12、安装框；13、过滤板；14、低速电机；15、第二转轴；16、箱体；17、排气阀。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种去光阻
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NOMAL清洗台，包括浸泡容器1，浸泡容器1内壁设置有安装筒2，安装筒2内壁设置有筒状支撑网8，安装筒2一侧设置有把手6，浸泡容器1一侧设置有脱气组件，且脱气组件包括箱体16、安装框12、过滤板13和第二转轴15，浸泡容器1一侧内壁开设有出水口4，浸泡容器1一侧内壁开设有入水口5，浸泡容器1顶端设置有密封组件；把手6固定连接在第一转轴3一端，把手6转动带动安装筒2旋转，放入筒状支撑
网8中的元件随着筒状支撑网8转动在去光阻液中移动，缩短浸泡的时间，提高光阻清洗装置的工作效率。
[0027]进一步的，箱体16固定连接于浸泡容器1一侧外壁，箱体16一侧外壁固定连接有低速电机14，第二转轴15设置于低速电机14一端，安装框12固定连接于第二转轴15外壁，过滤板13固定连接于安装框12内壁；安装框12 呈十字形，去光阻液中的气泡通过过滤板13过滤出之后通过排气阀17排出，实现了减少去光阻液中气泡的功能。
[0028]进一步的，密封组件包括密封盖7和密封板10，密封盖7设置于浸泡容器1顶端，密封板10设置于密封盖7内壁；密封盖7和密封板10支撑在浸泡容器1上，起到了对浸泡容器1的密封作用，减少去光阻液在浸泡过程中蒸发。
[0029]进一步的，浸泡容器1内壁开设有圆槽，安装筒2两侧分别固定连接有第一转轴3，且一侧第一转轴3贯穿浸泡容器1；第一转轴3支撑在圆槽槽壁，起到支撑安装筒2的作用，使安装筒2旋转更加平稳。
[0030]进一步的，入水口5一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种去光阻
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NOMAL清洗台，其特征在于：包括浸泡容器(1)，所述浸泡容器(1)内壁设置有安装筒(2)，所述安装筒(2)内壁设置有筒状支撑网(8)，所述安装筒(2)一侧设置有把手(6)，所述浸泡容器(1)一侧设置有脱气组件，且所述脱气组件包括箱体(16)、安装框(12)、过滤板(13)和第二转轴(15)，所述浸泡容器(1)一侧内壁开设有出水口(4)，所述浸泡容器(1)一侧内壁开设有入水口(5)，所述浸泡容器(1)顶端设置有密封组件。2.根据权利要求1所述的一种去光阻
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NOMAL清洗台，其特征在于：所述箱体(16)固定连接于所述浸泡容器(1)一侧外壁，所述箱体(16)一侧外壁固定连接有低速电机(14)，所述第二转轴(15)设置于所述低速电机(14)一端，所述安装框(12)固定连接于所述第二转轴(15)外壁，所述过滤板(13)固定连接于所述安装框(12)内壁。3.根据权利要求1所述的一种去光阻
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NOMAL清洗台，其特征在于：所述密封组件包括密封盖(7)和密封板...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿彪，
申请(专利权)人：北京华林嘉业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：