【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体生产设备领域，涉及一种有助于使高温扩散炉炉膛温度稳定的高温扩散炉保温器。高温扩散炉是生产半导体器件的关键工艺设备之一。通用高温扩散炉的炉体包括有由三段加热通电炉丝构成的三个加热区域，依次被称为左副控区、主控区和右副控区(参见附图2中标号I、II、III)，炉体炉膛的中间部位称为恒温区。生产过程中，工人将半导体硅片放到石英管内，再送入炉膛恒温区进行扩散。就高温扩散炉设备的性能指标来说，炉内恒温区的长度取值可决定投入产品的数量，而炉膛温度的稳定与否则是保证产品质量的必要条件，因此，一台质量性能优良的高温扩散炉应具有稳定的炉膛温度和在允许范围内尽可能长的恒温区长度。目前，高温扩散炉常见的炉体工作方式主要有两种，即两头开口的方式和一头(尾部或末端)开口另一头用保温材料(如耐火砖)封堵的方式。在两头开口的炉体中，如将炉膛中部恒温区的温度定在1250℃左右并将恒温区长度定在450～500mm时，则恒温区两头副控区的温度就必须在1280℃以上，而当两头副控区的温度定在1260℃左右时，具有1250℃主控温度的恒温区长度就不到300mm了。可见，在两头开口的炉体中恒温区的长度取决于副控区温度，而为了保住炉膛中部的温度向两头开口处扩散，以往的做法都是靠提高炉体两端左右副控区的温度。但炉膛的温度越高，对加热炉丝的寿命影响就越严重。据测试观察表明当炉膛温度为1250℃时，炉丝的寿命为2～3年；当炉膛温度为1280℃时，炉丝寿命为0.5～1年，而当炉膛温度在1300℃以上时，炉丝烧不到10天即告报废。在硅片扩散过程中，副控区一旦断，整套炉丝便全部报废(烧断的...
【技术保护点】
一种高温扩散炉保温器，其特征在于具有一个由石英材料制作的侧剖视面为Ｕ型的塞套（１），在塞套（１）内设有一个由保温材料制成的保温塞芯（２）。
【技术特征摘要】
1.一种高温扩散炉保温器，其特征在于具有一个由石英材料制作的侧剖视面为U型的塞套(1)，在塞套(1)内设有一个由保温材料制成的保温塞芯(2)。2.如权利要求1所述的高温扩...
【专利技术属性】
技术研发人员：毕春生，周忠林，柳凯清，乔玉庆，
申请(专利权)人：毕春生，
类型：实用新型
国别省市：14[中国|山西]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。