悬臂石英桨制造技术

本实用新型专利技术公开了一种悬臂石英桨，它包括悬臂部分（１）与承载部分（２），悬臂部分（１）与承载部分（２）通过结合部分（４）连接，结合部分（４）上设有支点（３）。本实用新型专利技术的悬臂石英桨不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，能承载的石英舟数量可以达到至少５只，并且悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，延长了悬臂石英桨的使用寿命，节约了使用成本。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产元件，尤其是一种悬臂石英桨。
技术介绍
从硅片到芯片的加工过程中，片子进出炉管的传统方式是推拉式，但是随着芯片直径加 大，自重增加，推拉式因为与炉管直接接触，容易对炉管造成损伤，因此这个加工过程就由 传统的推拉式变为悬臂式的硅桨，悬臂式硅桨可以保证芯片与炉管的同心度，进而使扩散、 氧化更均匀，并且保证了芯片的承载器不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命，但是硅 桨不易清洗、质地较脆、易断裂，并且断裂后不能修补，其所能承载的石英舟少，使用成本 高。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种悬臂石英桨，它可以保证芯片与炉管的同心度，不与 炉管直接接触，能承载的石英舟较多，并且容易清洗、不易断裂，即使断裂也可以进行修补 ，承载量大，节约了成本。本技术的技术方案是1、悬臂石英桨，其特征在于它包括悬臂部分l与承载部分 2，悬臂部分1与承载部分2通过结合部分4连接，结合部分4上设有支点3。所述的悬臂石英桨，悬臂部分l厚度为10 12mm，承载部分2厚度为4. 5 5. 5mm。上述的悬臂石英桨，支点3在结合部分4的中点处。前述的悬臂石英桨的材料为熔凝石英。与现有技术相比，本技术的悬臂石英桨不与炉管直接接触，延长了炉管的使用寿命 ，能承载的石英舟数量可以达到至少5只，并且悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使 断裂也可以进行修补，延长了悬臂石英桨的使用寿命，节约了使用成本。说明书附图图l为悬臂石英桨的结构示意图； 图2为附图说明图1的俯视图； 图3为图1的左视图。具体实施方式实施例l:悬臂石英桨的结构如图l、图2和图3所示，它包括由熔凝石英制成的悬臂部分l与承载部分2，悬臂部分1与承载部分2通过结合部分4连接，悬臂部分l厚度为llmm，承载部 分2厚度为5mm，结合部分4的中点位置处为支点3。本例中将悬臂石英桨的悬臂部分l的厚度，由常规的厚度增加到llm，以提高其受力能力 ，使能承载的石英舟数量增加到至少5只，并且能保证芯片与炉管的同心度，悬臂石英桨不 与炉管直接接触，避免了因反复进出而对炉管造成磨损，延长了炉管的使用寿命，由于了采 用熔凝石英，悬臂石英桨容易清洗，并且不易断裂，即使断裂也可以进行修补，节约了成本 ;支点3在结合部分4的中点位置处，因为石英桨的桨部(即承载部分2)要承载石英舟，因 此选择一个合适的支点3可以很好的保持整个桨的平衡，使其受力平衡均匀；熔凝石英的分 子为非结晶排布，这样可以在其断裂时能进行修补，以增加悬臂石英桨的使用寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
悬臂石英桨，其特征在于：它包括悬臂部分（１）与承载部分（２），悬臂部分（１）与承载部分（２）通过结合部分（４）连接，结合部分（４）上设有支点（３）。

【技术特征摘要】
1、悬臂石英桨，其特征在于它包括悬臂部分(1)与承载部分(2)，悬臂部分(1)与承载部分(2)通过结合部分(4)连接，结合部分(4)上设有支点(3)。2.根据权利要求l所述的悬臂石英桨，其特征在于悬臂部分(1)厚度为1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彩根，
申请(专利权)人：张彩根，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]