一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，包括导流筒和防护罩，所述导流筒底部设有固定圈，所述导流筒顶部设有石英盖，所述防护罩一侧顶部设置有托架，所述石英盖表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆。该导流筒具有防堵塞清理机构，在避免筒内堵塞的同时可对筒内壁进行清理效果，从而提升了导流效果，并具有防护结构，以避免筒体表面受损，从而提升防护性。从而提升防护性。从而提升防护性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒


[0001]本技术涉及单晶硅
，特别涉及一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。
[0003]目前，单晶硅晶种在导入晶炉内时，导流筒可能会由于加入料量过多而造成堵塞问题，从而降低了导流效果。
[0004]现有的用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒还存在以下弊端：1、缺乏防堵塞清理机构，使得进料时筒内易发生堵塞问题，从而降低了导流效果；2、缺乏防护结构，使得筒体表面易受到外界硬物撞击而受损，从而降低了防护性。为此，我们提出一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，包括导流筒和防护罩，所述导流筒底部设有固定圈，所述导流筒顶部设有石英盖，所述防护罩一侧顶部设置有托架，所述石英盖表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆。
[0008]进一步地，所述托架顶部通过螺钉设置有微型电动液压推杆，所述微型电动液压推杆顶部设置有推架，所述推架底部一侧通过螺钉设置有微型电机，所述微型电动液压推杆和微型电机驱动端分别与推架和T型搅杆连接，所述T型搅杆为橡胶材料；通过微型电动液压推杆驱动推架带动微型电机升降。
[0009]进一步地，所述防护罩设于导流筒外围且位于固定圈顶部，所述防护罩为不锈钢材料，所述导流筒为石英材料；通过防护罩为不锈钢材料在导流筒外围对其进行防护。
[0010]进一步地，所述石英盖表面对应T型搅杆一侧开设有进料口。
[0011]进一步地，所述固定圈表面外围均匀开设有安装孔。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1、通过设置微型电动液压推杆、推架、微型电机和T型搅杆，利用微型电动液压推杆驱动推架带动微型电机升降，并通过微型电机驱动T型搅杆在导流筒内壁之间升降旋转，以避免晶料堵塞，并对导流筒内壁进行清理，从而提升了导流效果。
[0014]2、通过设置防护罩，利用防护罩在导流筒外围，以避免导流筒因受到外界硬物碰撞而导致破损等问题，从而提升了防护性。
附图说明
[0015]图1为本技术一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒的导流筒内部结构示意图。
[0017]图中：1、导流筒；2、固定圈；3、石英盖；4、防护罩；5、安装孔；6、托架；7、微型电动液压推杆；8、推架；9、微型电机；10、进料口；11、T型搅杆。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]如图1
‑
2所示，一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，包括导流筒1和防护罩4，所述导流筒1底部设有固定圈2，所述导流筒1顶部设有石英盖3，所述防护罩4一侧顶部设置有托架6，所述石英盖3表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆11。
[0020]其中，所述托架6顶部通过螺钉设置有微型电动液压推杆7，所述微型电动液压推杆7顶部设置有推架8，所述推架8底部一侧通过螺钉设置有微型电机9，所述微型电动液压推杆7和微型电机9驱动端分别与推架8和T型搅杆11连接，所述T型搅杆11为橡胶材料。
[0021]本实施例中如图1、2所示，通过T型搅杆11为橡胶材料以避免T型搅杆11接触导流筒1内壁时造成磨损问题。
[0022]其中，所述防护罩4设于导流筒1外围且位于固定圈2顶部，所述防护罩4为不锈钢材料，所述导流筒1为石英材料。
[0023]本实施例中如图1、2所示，通过防护罩4在导流筒1外围，以避免导流筒1因受到外界硬物碰撞而导致破损等问题。
[0024]其中，所述石英盖3表面对应T型搅杆11一侧开设有进料口10。
[0025]本实施例中如图1、2所示，通过进料口10投放晶料。
[0026]其中，所述固定圈2表面外围均匀开设有安装孔5。
[0027]本实施例中如图1、2所示，通过固定圈2的安装孔5将导流筒1安装固定在单晶炉进料位置。
[0028]需要说明的是，本技术为一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，安装时，通过固定圈2的安装孔5将导流筒1安装固定在单晶炉进料位置，再将微型电动液压推杆7和微型电机9外接电源连接，下一步，人员通过石英盖3表面的进料口10投放晶料通过导流筒1导入单晶炉内，同时，开启微型电动液压推杆7和微型电机9，通过微型电动液压推杆7驱动推架8带动微型电机9升降，并通过微型电机9驱动T型搅杆11在导流筒1内壁之间升降旋转，以避免晶料堵塞，并对导流筒1内壁进行清理，同时，通过防护罩4在导流筒1外围，以避免导流筒1因受到外界硬物碰撞而导致破损等问题，从而提升了防护性。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术
要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定升降，并通过。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，包括导流筒(1)和防护罩(4)，其特征在于，所述导流筒(1)底部设有固定圈(2)，所述导流筒(1)顶部设有石英盖(3)，所述防护罩(4)一侧顶部设置有托架(6)，所述石英盖(3)表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒，其特征在于：所述托架(6)顶部通过螺钉设置有微型电动液压推杆(7)，所述微型电动液压推杆(7)顶部设置有推架(8)，所述推架(8)底部一侧通过螺钉设置有微型电机(9)，所述微型电动液压推杆(7)和微型电机(9)驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：英浩，
申请(专利权)人：连云港保康石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：