【技术实现步骤摘要】
一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架
[0001]本技术涉及硅单晶收尾加工
，具体为一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架。
技术介绍
[0002]硅单晶是一种具有完整点阵结构的晶体，且硅单晶也是一种良好的半导体材料，在进行硅单晶生产过程中其收尾的操作也是其中必不可少的步骤，因此进行硅单晶收尾的过程中，为了确保坩埚有着良好的稳定性通常都会用到支撑架对其进行辅助支撑限位。
[0003]然而现有的支撑架存在以下问题：
[0004]如公开号为CN209427363U的一种适用于石墨碳化硅坩埚的支撑架，其中包括承载板，所述承载板的上端设有四个减震装置，所述承载板的上端转动连接有四个转动板，且四个减震装置的一端分别转动连接在四个转动板的一侧，所述转动板的另一侧固定有夹持块，所述夹持块的一侧设有弧形槽，且四个弧形槽相互对应，然而在利用夹持块对坩埚进行限位固定时，需要用手同时拨动四个转动板，使得四个转动板进行移动，接着将坩埚防止到四个转动板的内侧，利用四个转动板内侧的夹持块对坩埚进行限位，同时通过四...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架，其特征在于，包括：工作台，安装在支撑底座的正上方，所述工作台的上端中部固定连接有托举块，且工作台的下端边侧通过螺栓固定连接有导向块，所述导向块和支撑底座之间通过2组减震机构相互连接；中心螺杆，其通过轴承贯穿安装在所述工作台的中部，所述中心螺杆上安装有调节基板，且调节基板的上端边侧通过螺栓固定连接有挤压竖杆；滑轮横杆，安装在挤压竖杆的上端内侧，所述滑轮横杆的内端固定安装在夹持块的外侧，且夹持块贯穿安装在圆柱形防护罩上，所述夹持块和防护罩之间通过提供复位弹力的内置弹簧相连接，且夹持块的内侧固定连接有提高摩擦力的接触凸点，所述防护罩的下端固定安装在工作台的上方。2.根据权利要求1所述的一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架，其特征在于：所述减震机构由连接杆、衔接块、导向固定块和卡接磁铁组成，且连接杆的上端和下端分别连接在导向块和衔接块上，所述衔接块安装在导向固定块的内部空腔内，且导向固定块的内...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，付春旭，李国东，马国财，
申请(专利权)人：弘元新材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：
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