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本实用新型公开了一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架,包括:工作台,安装在支撑底座的正上方,所述工作台的上端中部固定连接有托举块,且工作台的下端边侧通过螺栓固定连接有导向块,所述导向块和支撑底座之间通过2组减震机构相互连接;中心螺...该专利属于弘元新材料(包头)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过弘元新材料(包头)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种设有限位结构的大尺寸硅单晶收尾用坩埚支撑架,包括:工作台,安装在支撑底座的正上方,所述工作台的上端中部固定连接有托举块,且工作台的下端边侧通过螺栓固定连接有导向块,所述导向块和支撑底座之间通过2组减震机构相互连接;中心螺...