一种埚帮结构及单晶炉热场制造技术

本实用新型专利技术公开一种埚帮结构及单晶炉热场，涉及单晶制造技术领域，以解决当石墨坩埚或坩埚托杆断裂后，导致石英坩埚下沉碎裂，进而使硅液流出的问题。所述埚帮结构包括：埚帮本体、填充件和埚托。填充件填充于埚帮本体的底部开口处，用于与埚帮本体配合承载热场中的石英坩埚。填充件可沿埚帮本体的底部至埚帮本体的顶部方向，与埚帮本体分离，填充件可沿埚帮本体的顶部至埚帮本体的底部的方向，与埚帮本体配合。埚托设置于埚帮本体的底部，用于支撑埚帮本体和填充件。所述单晶炉热场包括上述技术方案所提的埚帮结构。本实用新型专利技术提供的埚帮结构用于单晶制造。帮结构用于单晶制造。帮结构用于单晶制造。

【技术实现步骤摘要】
一种埚帮结构及单晶炉热场


[0001]本技术涉及单晶制造
，尤其涉及一种埚帮结构及单晶炉热场。

技术介绍

[0002]目前，单晶硅的制造中，广泛采用单晶炉作为单晶生长的设备。
[0003]现有技术中，在单晶炉热场中，石英坩埚外表面包裹有用于承载石英坩埚的石墨坩埚。且石墨坩埚下方设置有坩埚托杆，用于支撑石墨坩埚。当石墨坩埚或坩埚托杆因异常情况断裂时，石英坩埚会失去支撑，导致石英坩埚下沉碎裂，进而使石英坩埚内部的硅液流出，烫穿炉底或波纹管，引发漏硅事故。
[0004]因此，需要解决当石墨坩埚或坩埚托杆断裂后，导致石英坩埚下沉碎裂，进而使硅液流出的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种埚帮结构及单晶炉热场，用于单晶制造，以解决当石墨坩埚或坩埚托杆断裂后，导致石英坩埚下沉碎裂，进而使硅液流出的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案。
[0007]第一方面，本技术提供一种埚帮结构，用于单晶炉的热场中，所述埚帮结构包括：埚帮本体、填充件和埚托。填充件填充于埚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种埚帮结构，用于单晶炉的热场中，其特征在于，所述埚帮结构包括：埚帮本体、填充件和埚托，其中：所述填充件填充于所述埚帮本体的底部开口处，用于与所述埚帮本体配合承载所述热场中的石英坩埚；所述填充件可沿所述埚帮本体的底部至所述埚帮本体的顶部方向，与所述埚帮本体分离，所述填充件可沿所述埚帮本体的顶部至所述埚帮本体的底部的方向，与所述埚帮本体配合；所述埚托设置于所述埚帮本体的底部，用于支撑所述埚帮本体和所述填充件。2.根据权利要求1所述的埚帮结构，其特征在于，所述埚帮本体包括侧壁以及弯曲部，所述埚帮本体的顶部开口形成在所述侧壁的第一侧，所述侧壁的第二侧与所述弯曲部的第一侧相连接，所述埚帮本体的底部开口形成在所述弯曲部的第二侧；所述填充件与所述弯曲部的第二侧相配合。3.根据权利要求2所述的埚帮结构，其特征在于，所述填充件可拆卸的设置在所述弯曲部的第二侧；所述填充件可沿所述埚帮本体的底部至所述埚帮本体的顶部的方向，与所述弯曲部分离；所述填充件可沿所述埚帮本体的顶部至所述埚帮本体的底部的方向，与所述弯曲部配合。4.根据权利要求3所述的埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢志宴，杨少平，李侨，邓浩，周锐，程磊，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：