【技术实现步骤摘要】
一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒
[0001]本技术涉及导流筒
,更具体地说,本技术涉及一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒。
技术介绍
[0002]在单晶硅的生产过程中,需要用到直拉单晶炉进行生产操作,并且单晶硅一般采用直拉法生产,为保证硅晶体的质量,节省能源以及减少二氧化碳排放,直拉硅单晶炉热场普遍使用导流筒,而导流筒主要起到对高温气体进行导流,保证生产出来的硅单晶质量更高。
[0003]现有技术中,导流筒在进行安装时,其上下两安装面均通过一层密封垫进行密封,这样长时间使用后,密封垫容易挤压过度造成损坏,从而内部的高温高压气体会进行泄露,密封性较差。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷,本技术的实施例提供一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒,通过设置密封机构,形成粘接嵌入式密封作用,可以保证导流管道上表面和下表面安装后形成多层嵌入式密封的作用,保证导流管道在进行导流时不易泄露气体,连接处抗压效果更好,密封性更好,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒,包括导流管道(1),其特征在于:所述导流管道(1)顶端外部连接有密封盖(2),所述密封盖(2)顶端设置有密封机构;所述密封机构包括设置在密封盖(2)顶部的连接密封垫(3),所述连接密封垫(3)顶端连接有嵌入密封条(4),所述嵌入密封条(4)顶端连接有嵌入粘接条(5),所述密封盖(2)顶端且位于所述嵌入密封条(4)内部位置处开设有嵌入槽(6),所述密封盖(2)底端连接有下层密封垫(7),所述下层密封垫(7)底端连接有下层嵌入密封环(8)。2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒,其特征在于:所述导流管道(1)顶端与所述密封盖(2)之间连接通过焊接进行固定,所述导流管道(1)为石墨材质。3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒,其特征在于:所述嵌入密封条(4)上下两端分别与所述嵌入粘接条(5)和所述连接密封垫(3)两两之间固定连接,所述嵌入密封条(4)为氯化丁基橡胶材质制...
【专利技术属性】
技术研发人员:齐轶,赵大海,
申请(专利权)人:吉林亿达炭业有限公司,
类型:新型
国别省市:
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