下载一种埚帮结构及单晶炉热场的技术资料

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本实用新型公开一种埚帮结构及单晶炉热场,涉及单晶制造技术领域,以解决当石墨坩埚或坩埚托杆断裂后,导致石英坩埚下沉碎裂,进而使硅液流出的问题。所述埚帮结构包括:埚帮本体、填充件和埚托。填充件填充于埚帮本体的底部开口处,用于与埚帮本体配合承载热...
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