【技术实现步骤摘要】
本技术属于敏感元件领域在工矿生产和人民生活中迫切需要对可燃、易爆和有毒等气体的快速检测、监控和报警。为此，国内外对气敏元件的研制迅速发展起来，但从目前情况看，为了获得较高的灵敏度和较短的响应时间，通常都需要在灵敏度峰值的温度下工作。如采用SnO2、ZnO和Fe2O3等半导体材料制作的气敏元件，需要在200－400℃之间工作。气敏元件在高温条件下工作，不仅要消耗额外的加热功率，而且会增加引起火灾的不安全因素。本技术的目的是克服上述气敏元件的缺点和不足研制出常温CO气敏元件。本技术的要点是气敏元件是由绝缘基片、敏感膜和活化加热膜构成的在常温下工作的CO气敏元件。附图1是本技术常温CO气敏元件的接触式电极结构剖面示意图。附图2是本技术常温CO气敏元件联结式电极结构剖面示意图。附表1是本技术常温CO气敏元件的灵敏度和选择性。本技术常温CO气敏元件的技术方案是在绝缘片(微晶光敏玻璃、石英玻璃或氧化铝陶瓷等材料)一侧高温烧结Pt－Sb－SnO2系的敏感膜，在绝缘片上的另一侧高温化学气相淀积Sb－SnO2系的活化加热膜。或在硅片一侧作绝缘层，再在绝缘层上高温烧结Pt－Sb－SnO...
【技术保护点】
一种由基片、敏感膜和加热膜组成的常温ＣＯ气敏元件，其特征是在绝缘基片的一侧制作敏感膜，在另一侧制作活化加热膜，或在硅片的一侧作绝缘层，再在绝缘层上作敏感膜，硅片本身作为活化加热体。分别作敏感膜和活化加热膜的金属电极，烧结金属引线封装为一体。
【技术特征摘要】
1.一种由基片、敏感膜和加热膜组成的常温CO气敏元件，其特征是在绝缘基片的一侧制作敏感膜，在另一侧制作活化加热膜，或在硅片的一侧作绝缘层，再在绝缘层上作敏感膜，硅片本身作为活化加热体、分别作敏感膜和活化加热膜的金属电极，烧结金属引线封装为一体。2.按照权利要求1所述的常温CO气敏元件，其特征是绝缘基片可以是微晶光敏玻璃片(锂玻璃)、石英玻璃片或氧化铝陶瓷片。硅片是低电阻率的单晶材料。3.按照权利要求1所述的常温CO气敏元件，其特征是敏感膜是Pt－Sb－SnO2系的高温烧结厚膜。4.按照权利要求1所述的常温CO气敏元件，其特征是活化加热膜是高温化学气相淀积的Sb－SnO2系的薄...
【专利技术属性】
技术研发人员：张维新，徐步华，候曾一，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：实用新型
国别省市：12[中国|天津]
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