有机薄膜三极管传感器制造技术

有机薄膜三极管传感器，近年来，气体和气味分析的有机气体传感器和感应器阵列的使用已经吸引的很多研究者的关注。本实用新型专利技术是通过测量有机三极管传感器工作电流的变化，实现特定气体微量的测定的有机三极管传感器。有机薄膜三极管传感器，其组成包括：有机薄膜三极管传感器，其组成包括：铝蒸发膜构成的栅极（基极）１，所述的铝蒸发膜栅极两侧具有有机半导体的酞菁铜薄膜２，两者之间形成肖特基壁垒，源极（集电极）３和漏极（发射极）４采用与酞菁铜蒸发膜成欧姆性接触的金蒸发膜，所述的漏极为多孔的金电极，所述的漏极和酞菁铜之间具有有机气体敏感膜。整体附着在玻璃５基板上。本产品用作接收光线的传感器。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种有机薄膜三极管传感器，其组成包括：铝蒸发膜构成的栅极，其特征是：所述的铝蒸发膜栅极两侧具有有机半导体的酞菁铜薄膜，两者之间形成肖特基壁垒，源极和漏极采用与酞菁铜蒸发膜成欧姆性接触的金蒸发膜，所述的漏极为多孔的金电极，所述的漏极和酞菁铜之间具有有机气体敏感膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵洪，王东兴，殷景华，王喧，桂太龙，宋明歆，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：实用新型
国别省市：93[中国|哈尔滨]