电－光器件及其制造方法技术

一种改进的电－－光器件，该器件包括一块透明基片和在其相对的两个表面上有一对电极的光电导层．在透明电极和光电导层之间的电极是透明的，并且是用氧化锌制成的．后者不会由于光电导层接触而发生还原反应．（*该技术在2007年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及某些电-光器件以及利用反应气体制造这些器件的方法，所述反应气体包括作用于基片上的还原气体，该基片拥有具有导电性的透明氧化物表面。过去，作为一种在透明基片上形成的具有导电性的透明氧化的薄膜，已有公知的铟锡氧化物(以下称为ITO)和二氧化锡(以下称为SnO2)，它们都广泛地被用作光电传换器件的导电薄膜。但是，就ITO薄膜来说，尽管它有很高的导电率和足够的透明度，但ITO本身相当容易还原，从而当在ITO薄膜上形成一层半导体薄膜时，由于在ITO和半导体薄膜之间界面的邻近区域出现白色混浊现象，透明度显著降低。于是，在其上形成ITO薄膜的玻璃或类似物质的基片恐怕不能用作光电转换器件。此外，在界面附近会有淀积的金属铟，它扩散到该半导体薄膜中，明显地恶化器件的特性。相反，二氧化硅(SiO2)薄膜不像ITO薄膜那样显现白色的混浊现象，但是，SiO2薄膜电阻率高，以致当它被用作光电转换器件时，很难抽出足够大的功率向外输出。况且，SiO2薄膜由于刻蚀工艺上的巨大困难恐怕不能用作精细类型的电子器件。所以，本专利技术的目的是提供一种电-光器件以及一种用不显现白色混浊且具有满意的工艺性的透明导电薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电—光器件，其特征在于包括：一块基片；具有一定电性能的功能层；以及为所述功能层需要的电极配置，包括一个透明的氧化锌电极。

【技术特征摘要】
JP 1986-5-1 101829/861.一种电-光器件，其特征在于包括一块基片；具有一定电性能的功能层；以及为所述功能层需要的电极配置，包括一个透明的氧化锌电极。2.根据权利要求1的器件，其特征在于为此所需的工艺包括要在形成所述氧化锌电极后在还原气氛中实施的一个步骤。3.根据权利要求1的器件，其特征在于和所述氧化锌电极相邻的表面用还原材料制成。4.根据权利要求1的器件，其特征在于所述原还层是光电导的。5.根据权利要求4的器件，其特征在于还包括一层与所述透明层相对的反射层。6.根据权利要求5的器件，其特征在于用以形成所述透明电极的氧化锌包括从铝、锗、硅和它们的氧化物中选出来作为第二成分的杂质。7.根据权利要求6的器件，其特征在于所述透明电极设置在所述基片和所述光电导层的一个表面之间，而所述相对的电极则形成在所述光电导层的另一表面上。8.根据权利要求4的一种光电器件，其特征在于所述光电导层是一种多层半导体，包括第一种导电类型的第一杂质半导体层、本征半导体层和第二种导电类型的第二杂质半导体层。9.根据权利要求8的器件，其特征在于所述半导体是非...

【专利技术属性】
技术研发人员：高山彻，山崎舜平，铃木邦男，阿部雅芳，金花美树雄，深田武，柴田克彦，薄田慎人，滨谷敏次，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]