光纤热敏器件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种光纤热敏器件及制造方法。包括热膨胀元，其上的反光镜，具有几对定位壁骨的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，和插入通道中的单模光纤。其主要制造步骤是用各向异性腐蚀剂在硅衬底上腐蚀制作热膨胀元、通道及壁骨。反光镜是用化学气相法淀积在氧化层上，由氮化硅、钛、金层组合的反光层，用阳极粘结工艺粘结遮盖薄板，光纤插入通道中以共聚物通过热处理固定在芯片上并封闭通道口。具有成本低可批量制造的优点。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体器件，更确切地说是涉及一种。由于工艺控制、质量控制、自动化及安全保障等方面对热测量方式及热传感器性能提出的新要求;又由于光纤本身既是电绝缘体又是不良热导体，且不受电干扰影响，因而安全性好、隔离性好，并可将测量物体的热损失减到最小，因此应用光纤技术的光纤热敏器件已成为当前热传感器的发展特点。已有不少光纤热敏器件专利及利用与温度相关的光的物理效应制造的光纤热敏器件问世。光传输的变化是由热电材料耒显示的，1991年10月1日颁发给文森·德·麦金尼斯(VincentD·McGinniss)等的美国第5052820号专利，公开了一种使用改进的有机聚合物制造的器件，在一定温度范围内，它的光透射率会发生明显变化。从光纤返回耒的光束内所包含斯托克斯和反斯托克斯光的幅度和时间延迟跟温度有依赖关系。YuzuruTanabe等应用这个原理制造了一种分布式光纤温度传感器(美国专利U.S.5054935，1991年10月8日公开)许多材料的萤光强度是随温度变化的，基于这个原理，马科斯·克雷勒曼(MarcosY·Kleinerman)等制造了一种对温度敏感的新纤维光学系统(美国专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤热敏器件，其特征在于：包括制作在硅衬底上的热膨胀元，制作在热膨胀元上的反光镜，制作在硅片衬底上的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，光纤导向通道内有成对制作的停止壁骨和定位壁骨，和插入光纤导向通道中以停止壁骨拦阻和以定位壁骨定位的单模光导纤维。

【技术特征摘要】
1.一种光纤热敏器件，其特征在于包括制作在硅衬底上的热膨胀元，制作在热膨胀元上的反光镜，制作在硅片衬底上的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，光纤导向通道内有成对制作的停止壁骨和定位壁骨，和插入光纤导向通道中以停止壁骨拦阻和以定位壁骨定位的单模光导纤维。2.根据权利要求1所述的光纤热敏器件，其特征在于所述的热膨胀元是一个充填有热膨胀系数大的气体或液体的密封腔体。3.根据权利要求1或2所述的光纤热敏器件，其特征在于所述的反光镜是淀积在所述密封腔体一个与大气环境相通的可偏离侧壁上的反光层。4.根据权利要求1所述的光纤热敏器件，其特征在于所述的热膨胀元及大部分光纤导向通道上有遮盖薄板。5.根据权利要求1所述的光纤热敏器件，其特征在于所述的热膨胀元是内侧壁上淀积有反光层的光纤导向通道。6.根据权利要求1或2所述的光纤热敏器件，其特征在于所述的密封腔体内淀积有抗腐层。7.根据权利要求1或2所述的光纤热敏器件，其特征在于制作有密封腔体与光纤导向通道的硅片背面有红外吸收层。8.一种如权利要求1所述的光纤热敏器件的制造方法，其特征在于是采用如下步骤a)制备(110)硅衬底;b)用对<100>和<110>方向腐蚀速度快于对<111>方向腐蚀速度50倍左右的各向异性腐蚀剂，在所述硅衬底上腐蚀制作...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂相征，涂鹏，李韫言，
申请(专利权)人：李韫言，涂鹏，涂相征，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]