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本发明涉及一种光纤热敏器件及制造方法。包括热膨胀元，其上的反光镜，具有几对定位壁骨的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，和插入通道中的单模光纤。其主要制造步骤是用各向异性腐蚀剂在硅衬底上腐蚀制作热膨胀元、通道及壁骨。反光镜是用化学气相法淀积在...
该专利属于李韫言;涂鹏;涂相征所有，仅供学习研究参考，未经过李韫言;涂鹏;涂相征授权不得商用。

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