自动基片装载装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种自动基片装载装置，包括其上放置有切成基片的晶片的一个晶片盛放部；装在晶片盛放部一侧、用以存放空盘和装满基片的盘用的一个盘装／卸部；从所述盘装／卸部取出空盘并当该空盘上装上预定数目的基片时将该盘装到盘装／卸部的一个盘传送部；以及用于将从晶片选出的基片传送到取自所述盘装／卸部的空盘上的一个基片传送部。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于锯切晶片制造加工中完成的晶片并将其自动地装载在盘中的自动基片装载装置，尤其是一种只将合格的锯切基片选出并自动装入空盘、再将该装满基片的盘装入储仓的一种自动基片装载装置。图1A，1B和2分别是一种普通基片装载装置的前视、平面和侧视图，参见图1A、1B及2，在基件1的顶部中央，载放锯切晶片2的转台3装置成可沿X和Y轴移动。用于分辨各个锯切晶片好坏的像机4装在转台的正上方。装在转台后边的是将合格基片传送至盘中、可作180°内旋转的一个拾器5。基件1后方，一个X轴自动装置7被装到安装架6上。Y轴自动装置8被连接到X轴自动装置上。带有许多(8个)盘9的一个盘基件10装于Y轴自动装置上。切成单个基片的晶片2承载于转台3上，同时盘9放置在于盘基件10上形成的多个凹窝内。在此状态下，当通电以操纵该装置时，转台3便沿X和Y轴移动，转台正上方的像机4遂分辨锯切基片是好是坏。基片若是好的则被吸到拾器5上并逐一地装在盘9上。当有一个基片装上盘9，该盘则由X和Y轴自动装置7和8移位，同时转台也移动。在此状态下，这样被认为是合格的其它的基片遂可顺序地转送到盘上。全部基片装到基件10上的盘9上后，盛有基片的盘就由操作者从盘基件10分离并放至它处。空盘再装在盘基件上以使上述过程得以重复。但在这种普通装置中，由于必得由操作者在盘基件上的盘中装满基片后以手工方式替换该盘，因此工时延长从而降低了生产率。因此，为解决这个问题，本专利技术的目的是能提供一种能自动只选合格基片并将其放入空盘，而无需手工更换盘子的自动基片装载装置。为实现本专利技术的目的，提供了一种自动基片装载装置，包括将切成基片的晶片放置其上的一个晶片盛放部；装在该晶片盛放部一侧、用以装空盘及盛有基片的盘的一个盘装/卸部；用以从该盘装/卸部取出空盘及当在该空盘上装上预定数量的基片时将该盘装在该盘装/卸部的一个盘传送部；以及用以将从该晶片选出的基片传送到从盘装/卸部取出的空盘上的一个基片传送部。晶片盛放部被装在一个基件上，并由一个X-Y自动装置控制协同其他构件进行操纵。待锯切成基片的晶片被放置在晶片盛放部上。该盘装/卸部包括其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；安装在第一储仓下方一侧用于分离第一储仓中最下面的空盘的第一输送器；装在该第一储仓下面用以就在第一输送器分离最下面的空盘之前托住位于最下面的空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；装在第一储仓一侧上用以盛放装满基片的盘的第二储仓；以及装在第二储仓下方一侧用以将盛有基片的盘推入到第二储仓内的一个第二输送器。基片传送部包括在一个预定旋转范围内侧向移动的一个拾取块，以及固定于该拾取块前端用于吸取并移动基片的一个拾器。盘传送部包括安装到基件上的一个X-Y自动装置；固定于X-Y自动装置上、当X-Y自动装置被驱动时作侧向移动、且其上装有来自盘装部的一个空盘的一个盘基件；以及以弹性方式安装、可移至该盘基件一侧并用以夹紧放置的空盘用的一个夹子。下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步详细的说明，其中图1A和1B分别为一种普通基片装载装置的前视及平面视图；图2为图1中装置的右侧视图；图3为本专利技术的自动基片装载装置的前视图；图4为图3装置的左视图，其中部分构件被省略；图5A、5B和5C分别为本专利技术的晶片盛放部的平面图，主视图和左视图；图6A和6B分别为本专利技术的盘装/卸部及盘传送部的平面视图及主视图；图7为图6A、6B中重要构件的主体图；图8A和8B为本专利技术像机的主视图和右视图；图9A、9B和9C为基片传送部的平面视图，主视图及右视图，局部作剖视；以及图10为用以解释基片传送部动力传输的一张简图。以下将结合附图说明本专利技术的一个优选实施例。参见图3及4，本专利技术的自动基片装载装置包括用以盛放一个锯切晶片2、装在基件1顶部中央的一个晶片盛放部11，其上顺序装载有空盘9和装有基片的盘9a的一个盘装/卸部12，用于将这些盘传送至该盘装/卸部或传送至装基片处的一个盘传送部13，用作鉴定装在晶片盛放部上的基片是好是坏的一个像机14，以及用以吸取合格基片并将其传送至安放在盘传送部上的盘上去的一个基片传送部15。本专利技术大略分作五部分。下面参照图5A、5B和5C对晶片盛放部11作详细说明。X-Y自动装置16装于基件1上。旋转架18固定于X-Y自动装置的轴17上。安装夹板19用螺栓20固定。拧紧螺栓20旋转架18就不颤动。在转架位置调整后，用以支承该转架使其不因自重而下降的一个基架21被安装到位于转架18下面的X-Y自动装置的轴上。该基架21的位置是由螺栓22的拧紧力来确定的。伸展台23分为可动伸展台23a和固定伸展台23b，并被装于转架18之上。由步进电机24驱动旋转的螺杆25按于转架18，并与可动伸展台23a以螺纹连接。胀环27接于薄膜26，晶片2附着在薄膜上，胀环以固定方式装在固定伸展台23b上。当通过驱动步进马达降低可动伸展台23a时，胀环27张紧附着于框28上的薄膜。在此，与可动伸展台23a的边缘相接的螺杆25必得做成当步进电机24驱动时沿相同方向旋转。参看图6A和6B，一个主支承件29装在基件1的前部(相对操作者方向)。顺序安放有空盘9的第一储仓30装在该主支承件的一侧。顺序安放装有基片的盘9a的一个第二储仓31则在主支承件的另一侧。第一缸33由第一储仓30下面的支架32支承。第一传送器34装在第一缸33的活塞杆上。第一传送器由第一缸操纵抬升以使在第一储仓30内的空盘逐一地分离出来并将它们供给盘传送部13。第三缸35装在第一储仓另一侧下面，刚好在第一传送器分离最下面一个空盘之前动作以便托住最下面一个盘上面的空盘。所以，第三缸防止了从次最低位起的那些空盘因其自重而掉落。第一储仓30下方相对两侧装有一对传感器36。它们用以检测，在第三缸35托往从次最低位起的空盘9的状态下当第一传送器34由第一缸33降下从第一储仓中分离出最低位空盘时，在该第一传送器上是否被装上了多于一个的盘子。为了这一操作，传送器36的安装位置必须位于当第一传送器34位于其最低行程点时装在该第一传送器上的空盘所在位置的正上方，换言之，若当第一传送器34位于最低行程点时，传感器36没检测到空盘，则可确定一个空盘被装上了该第一传送器。在此状态下，中央处理器(CPU)则继续执行后序程序。相反，如果传感器检测到一个空盘，则可确定在第一传送器上装上了多于一个的盘子，在此情况下，CPU则停止系统操作并以蜂鸣器或警示灯将此情况指示给操作者。第二缸38由第二储仓31下方的支架37所支承。一个第二传送器39装在第二缸38的活塞杆上。该第二传送器由第二缸升降顺序将盛有基片的盘放进第二储仓31。防止装在第二储仓31内的盘9a掉落的挡块40借助于盘簧41弹性安装在第二储仓内部的下方，盘被装进第二储仓时，挡块40或隐或现。导向块42a和42b装在第一和第二储仓上，这样，第一和第二传送器34和39可稳定地作垂直的上下移动。装在导向块上的连接件43a及43b被固定在第一和第二传送器34和39上。用于将空盘放入第一储仓30、将放有基片的盘放在第二储仓31中的盘传送部13被设置成可在基片传送部15与盘装/卸部12之间作往复运动。图7示出盘传送部和盘装/卸部的结构。基件1上装有X-Y自动装置44。装到X本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动基片装载装置，包括：一个晶片盛放部，其上放置有锯切成基片的晶片；一个盘装／卸部，被装在所述晶片盛放部的一侧，用以存放空盘及盛有基片的盘；一个盘传送部，用于从所述盘装／卸部取出所述空盘以及当预定数量的基片被安放到所述空盘时 将该盘装至所述盘装／卸部；和一个基片传送部，用以把从所述晶片选出的基片传送至从所述盘装／卸部取出的一个空盘上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 1994-6-24 14610/19941.一种自动基片装载装置，包括一个晶片盛放部，其上放置有锯切成基片的晶片；一个盘装/卸部，被装在所述晶片盛放部的一侧，用以存放空盘及盛有基片的盘；一个盘传送部，用于从所述盘装/卸部取出所述空盘以及当预定数量的基片被安放到所述空盘时将该盘装至所述盘装/卸部；和一个基片传送部，用以把从所述晶片选出的基片传送至从所述盘装/卸部取出的一个空盘上。2.按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述晶片盛放部包括装在一个基件上的一个X-Y自动装置一个旋转架，以可旋转方式装在所述X-Y自动装置的轴上，并且其位置由紧固在一个安装夹板上的螺栓的拧紧力确定；装在轴上从而与所述旋转架的下端相连的一个基架，用以防止所述旋转架因其自重而掉落；装于所述旋转架顶部的一个伸展台，该伸展台分为一个可动伸展台及固定伸展台；与所述旋转架可转动地接合的螺杆，用以在步进电机受驱动时升降所述螺纹连接的可动伸展台；和固定于所述固定伸展台上部、并与其上附着有所述晶片的一个薄膜相接触的一个胀环，在所述可动伸展台降下时将所述薄膜张紧。3.按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部包括其中顺序存放有空盘的一个第一储仓；装在所述第一储仓下方一侧、用于分离第一储仓中最低位空盘的一个第一传送器；装于所述第一储仓下方、用于就在所述第一传送器分离最低位空盘之前托住位于最低位空盘以上的空盘使之不自由掉落的一个第三缸；装于所述第一储仓一侧、用以存放盛有基片的盘的一个第二储仓；装于所述第二储仓下方一侧、将盛有基片的盘向上推入所述第二储仓的一个第二传送器；和弹性安装在所述第二储仓下方内部、能够伸出和回缩以便防止第二储仓的盘子掉落的一个挡块。4.按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述第一和第二传送器通过第一和第二缸升降，导向块安装在所述第一和第二储仓上，而连接件被固定在所述的第一和第二传送器上，当所述第一和第二传送器通过第一和第二缸作上下移动时所述连接件受所述导向块的引导。5.按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中安装在所述第二储仓下方内部的挡块因配有螺旋弹簧而呈弹性。6.如权利要求3所述的自动基片装载装置，其中在所述第一储仓下方两侧装有传感器，用于当所述第一传送器到达最低行程点时检测在所述第一传送器上是否一次装上了多于一个的空盘。7.按权利要求1所述的自动基片装载装置，其中，所述盘传送部包括固装于基件上的一个X-Y自动装置；装于该X-Y自动装置上、当所述X-Y自动装置受驱动时侧向移动的一个盘基件，其上装有来自所述盘装部的一个空盘；设置在所述盘基件顶部周边上、用以确定所装空盘的位置的一个位置确定件；弹性安装、可移向所述盘基件一侧、用于夹紧所装空盘的一个夹子；和设置在所述盘装/卸部上、用于当所述夹子的下端与之接触时将夹子撑开的导轨。8.按权利要求3所述的自动基片装载装置，其中所述盘装/卸部由一个主支承件支承，而所述夹子与之相接触的导轨设置在所述主支承件内部。9.按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述夹子下端装有轴承，所述轴承与所述导轨相接触。10.按权利要求7所述的自动基片装载装置，其中所述盘基件包括有检测装置，该检测装置有因空盘重量而转动的一个传感件和用于传...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳道铉，
申请(专利权)人：LG半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]