【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置
[0001]本专利技术涉及单晶制造
,特别涉及一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置。
技术介绍
[0002]传统能源由于储量、环保等问题,各个国家碳达峰碳中和目标,需求逐步下降,而清洁能源的需求与日俱增。其中,太阳能光伏具有高效低成本优势,较其他风能、潮汐能等拥有更大的发展前景。
[0003]目前直拉单晶技术开发过程中,高品质、低成本是当前主流技术方向。大尺寸硅片因其更优的性价比,市场占比逐步增大。
[0004]然而,随着大热场运行时间延长,单晶炉排气管路容易沉积大量挥发物,使得挥发物在硅液中的溶解几率增加,增加了氧含量,氧含量的增大在电池端则带来同心圆比例增大,漏电等异常现象,在组件端则表现为光衰比例较大,不利于终端电站后期发电收益。
技术实现思路
[0005]有鉴于此,本专利技术提供了一种单晶炉排气管路自清洁装置,首先在排气管道内外等压的情况下打开闸板阀,然后通过第一驱动机构将清洁头带入排气管道内,并通过第二驱动机构带动清洁头进行旋转清洁,以便于 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉排气管路自清洁装置,其特征在于,包括壳体、闸板阀(12)、清洁头(13)、第一驱动机构和第二驱动机构;所述壳体第一端为开口结构;所述闸板阀(12)第一端用于连接排气管道(30)的工艺孔,第二端与所述壳体第一端连接;所述清洁头(13)设置于所述壳体内,且相对于所述壳体可活动;所述第一驱动机构用于在所述闸板阀(12)打开时,驱使所述清洁头(13)由所述壳体内伸入所述排气管道(30)内;所述第二机构用于驱使所述清洁头(13)旋转。2.根据权利要求1所述的单晶炉排气管路自清洁装置,其特征在于,所述壳体包括腔体(11)和伸缩管(14);所述腔体(11)第一端为开口结构;所述伸缩管(14)第一端与所述闸板阀(12)第二端连接,第二端与所述腔体(11)第一端连接;所述清洁头(13)沿所述伸缩管(14)轴向设置于所述腔体(11)内,且至少部分位于所述伸缩管(14)内;所述第一驱动机构用于在所述闸板阀(12)打开时,驱使所述腔体(11)沿所述伸缩管(14)轴向压缩所述伸缩管(14),以使得所述清洁头(13)能够由所述壳体内伸入所述排气管道(30)内;所述第二驱动机构设置于所述腔体(11)外,且用于驱使所述清洁头(13)绕所述伸缩管(14)的轴向旋转。3.根据权利要求2所述的单晶炉排气管路自清洁装置,其特征在于,所述伸缩管(14)为波纹管。4.根据权利要求2所述的单晶炉排气管路自清洁装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括丝杠传动机构(16);所述丝杠传动机构(16)沿平行于所述伸缩管(14)轴向的...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄晶晶,吴刚,鞠贵冬,王新强,
申请(专利权)人:双良硅材料包头有限公司,
类型:发明
国别省市:
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