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本发明公开了一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置，其中，单晶炉排气管路自清洁装置包括壳体、闸板阀、清洁头、第一驱动机构和第二驱动机构；壳体第一端为开口结构；闸板阀第一端用于连接排气管道的工艺孔，第二端与壳体第一端连接；清洁头设置于壳体内；第...
该专利属于双良硅材料(包头)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料(包头)有限公司授权不得商用。

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