转移机构及具有其的物理气相沉积机台制造技术

本公开提供了一种转移机构及具有其的物理气相沉积机台，转移机构包括：第一支撑架，用于支撑第一物料；第二支撑架，用于支撑第二物料，第一支撑架位于第二支撑架的上方；隔离件，设置在第一支撑架和第二支撑架之间，以隔离第一支撑架和第二支撑架，以防止第一物料上的颗粒掉落至第二物料上。本公开的转移机构解决了现有技术中的转移机构中的位于下方的晶圆容易受到污染的问题。易受到污染的问题。易受到污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
转移机构及具有其的物理气相沉积机台


[0001]本公开涉及半导体
，具体而言，涉及一种转移机构及具有其的物理气相沉积机台。

技术介绍

[0002]物理气相沉积机台中间的转移机构为了提升传送效率，通常设计为两层结构，上、下层支撑架可以同时进行晶圆(wafer)的传输。
[0003]然而，在实际使用过程中，当下层支撑架在转移腔室中等待，上层支撑架抽放晶圆时，由于机械臂在取放过程中会有轻微震动，上层支撑架的晶圆背面附着的颗粒会掉到下层支撑架的晶圆上，导致下层晶圆表面受到污染。
[0004]另外，当机械臂或者上、下层支撑架位置异常时，上层支撑架的晶圆背面会与上层支撑架产生刮蹭，大大加剧了下层支撑架的晶圆表面受到污染的可能性及严重性。

技术实现思路

[0005]本公开提供一种转移机构及具有其的物理气相沉积机台，以解决转移机构中的位于下方的晶圆容易受到污染的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本公开的一个方面，提供了一种转移机构，包括：第一支撑架，用于支撑第一物料；第二支撑架，用于支撑第二物料，第一支撑架位于第二支撑架的上方；隔离件，设置在第一支撑架和第二支撑架之间，以隔离第一支撑架和第二支撑架，以防止第一物料上的颗粒掉落至第二物料上。
[0007]进一步地，转移机构还包括：罩体，罩体具有容纳腔室，第一支撑架、第二支撑架和隔离件均设置在罩体内，隔离件与罩体的内壁连接。
[0008]进一步地，隔离件上设置有安装部，隔离件通过安装部与罩体连接。
[0009]进一步地，安装部与罩体可拆卸地连接；其中，安装部与罩体螺纹连接或者卡接；或者，安装部与罩体焊接。
[0010]进一步地，隔离件设置有凹陷部，凹陷部的开口朝向第一支撑架设置。
[0011]进一步地，隔离件为弧形板，弧形板朝向第二支撑架凸出设置，弧形板形成凹陷部。
[0012]进一步地，隔离件设置有吸附层，吸附层设置在隔离件与第一支撑架相对的一侧；其中，吸附层由吸附材料制成。
[0013]进一步地，隔离件上设置有连通孔；隔离件的底部设置有收集件，收集件具有收集腔，收集腔与连通孔相连通，以使掉落至隔离件上的颗粒通过连通孔进入收集腔内。
[0014]进一步地，收集件与隔离件可拆卸地连接。
[0015]根据本公开的另一方面，提供了一种物理气相沉积机台，包括转移机构、第一工作台和第二工作台，转移机构设置在第一工作台和第二工作台之间，以使第一工作台和第二工作台上的晶圆在转移机构进行中转，其中，转移机构为上述实施例中的转移机构。
[0016]本公开的转移机构包括沿竖直方向间隔设置的第一支撑架和第二支撑架，其中，第一支撑架位于第二支撑架的上方；第一支撑架和第二支撑架均用于承载物料(物料包括第一物料和第二物料)。该转移机构在第一支撑架和第二支撑架之间设置有隔离件，以隔离第一支撑架和第二支撑架，在生产过程中，若第一支撑架上的第一物料上的颗粒脱落则被隔离件接住，防止第一物料上的颗粒掉落至第二物料上。具体地，物料为晶圆，即第一物料和第二物料均为晶圆，该转移机构避免第二支撑架上的晶圆受到第一支撑架上的晶圆所掉落的颗粒的污染，解决了位于下方的晶圆容易受到污染的问题。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。在附图中：
[0018]图1示出了根据本公开的转移机构的实施例的结构示意图；以及
[0019]图2示出了根据本公开的物理气相沉积机台的实施例的俯视图。
[0020]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0021]10、第一支撑架；20、第二支撑架；30、第一物料；40、隔离件；80、第二物料；
[0022]50、第一工作台；51、第一机械臂；60、第二工作台；61、第二机械臂；70、转移机构；90、机械臂；100、承载台；110、加工工位。
具体实施方式
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本公开。
[0024]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0025]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0026]本公开提供了一种转移机构，请参考图1和图2，包括：第一支撑架10，用于支撑第一物料30；第二支撑架20，用于支撑第二物料80，第一支撑架10位于第二支撑架20的上方；隔离件40，设置在第一支撑架10和第二支撑架20之间，以隔离第一支撑架10和第二支撑架20，以防止第一物料30上的颗粒掉落至第二物料80上。
[0027]本公开的转移机构包括沿竖直方向间隔设置的第一支撑架10和第二支撑架20，其中，第一支撑架10位于第二支撑架20的上方；第一支撑架10和第二支撑架20均用于承载物料(物料包括第一物料和第二物料)。该转移机构在第一支撑架10和第二支撑架20之间设置有隔离件40，以隔离第一支撑架10和第二支撑架20，在生产过程中，若第一支撑架10上的第一物料30上的颗粒脱落则被隔离件40接住，防止第一物料30上的颗粒掉落至第二物料80上。具体地，物料为晶圆，即第一物料30和第二物料80均为晶圆，该转移机构避免第二支撑架20上的晶圆受到第一支撑架10上的晶圆所掉落的颗粒的污染，解决了位于下方的晶圆容
易受到污染的问题。
[0028]需要说明的是，物料也可以为其他产品或零部件。
[0029]在本实施例中，转移机构还包括罩体，罩体具有容纳腔室，第一支撑架10、第二支撑架20和隔离件40均设置在罩体内，隔离件40与罩体的内壁连接。这样的设置实现了隔离件40的安装固定。
[0030]在本实施例中，隔离件40上设置有安装部，隔离件40通过安装部与罩体连接。这样的设置便于隔离件40的安装。
[0031]具体地，安装部设置在隔离件40的侧壁上。
[0032]在一个实施例中，安装部与罩体可拆卸地连接；其中，安装部与罩体螺纹连接或者卡接。这样的设置便于隔离件40的安装与拆卸。
[0033]在另一个实施例中，安装部与罩体焊接。这样的设置保证安装部与罩体连接的可靠性。
[0034]在本实施例中，隔离件40设置有凹陷部，凹陷部的开口朝向第一支撑架10设置。这样的设置接收物料掉落的颗粒的效果更好，避免颗粒从隔离件40上掉落至下方的晶圆上。
[0035]在一个实施例中，隔离件40为弧形板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转移机构，其特征在于，包括：第一支撑架(10)，用于支撑第一物料(30)；第二支撑架(20)，用于支撑第二物料(80)，所述第一支撑架(10)位于所述第二支撑架(20)的上方；隔离件(40)，设置在所述第一支撑架(10)和所述第二支撑架(20)之间，以隔离所述第一支撑架(10)和所述第二支撑架(20)，以防止所述第一物料(30)上的颗粒掉落至所述第二物料(80)上。2.根据权利要求1所述的转移机构，其特征在于，所述转移机构还包括：罩体，所述罩体具有容纳腔室，所述第一支撑架(10)、所述第二支撑架(20)和所述隔离件(40)均设置在所述罩体内，所述隔离件(40)与所述罩体的内壁连接。3.根据权利要求2所述的转移机构，其特征在于，所述隔离件(40)上设置有安装部，所述隔离件(40)通过所述安装部与所述罩体连接。4.根据权利要求3所述的转移机构，其特征在于，所述安装部与所述罩体可拆卸地连接；其中，所述安装部与所述罩体螺纹连接或者卡接；或者所述安装部与所述罩体焊接。5.根据权利要求1至4中任一项所述的转移机构，其特征在于，所述隔离件(40)设置有凹陷部，所述凹陷部的开口朝向所述第一支撑架(10)设置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张子玉，熊少游，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：