一种用于6英寸、8英寸、12英寸晶舟盒的晶片推导转移工具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多用途晶舟盒的晶片转移用具，可以应用在硅晶片制造领域，通用6英寸、8英寸、12英寸不同的晶舟盒的晶片转移工具，实现了高效率的转移工作，降低了晶圆转移时的步骤节拍和时间，环境因素影响降低至最小，掉落、污染、人工失误等环节的失误降低到最低，并且可以实现标准化作业。并且可以实现标准化作业。并且可以实现标准化作业。

【技术实现步骤摘要】
一种用于6英寸、8英寸、12英寸晶舟盒的晶片推导转移工具


[0001]本技术涉及一种多用途晶舟盒的晶片转移用具，可以应用在硅晶片制造领域，通用6英寸、8英寸、12英寸不同的晶舟盒晶片转移。

技术介绍

[0002]硅晶片制造过程中，各种环境要求以及工况要求非常苛刻，任何的超标规范降造成不良率上升和硅晶片的报废，在晶片不同工序的周转过程中，晶片需要从晶舟盒内不断的取出和放回，现有的取给方式效率低下，环境工况等因素不可控，造成效率低下且稍有疏忽会造成昂贵的硅晶片报废。

技术实现思路

[0003]本技术的目的针对存在的问题和标准化操作不能统一等不可控因素，提供一种标准的作业工具，该工具克服周转过程中效率低下，不可控因素过多等问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采用下述技术方案：本技术的整体设计采用合金钢材和工程塑料两大类材质，满足硅晶片制造过程中不同材质对于晶片的影响，且保证整体构件的稳定性。使用时通过拨动微调手柄，设置不同晶舟盒的高度，将两组晶舟盒放置在设置卡槽中，通过拨动启动手柄，使推导构件在滑动轨道中按照设定方向移动推头，推头在推力的作用下均匀有力的接触到晶圆本体，将晶圆平稳的一次性全部推导转移到目标晶舟盒。
[0005]采用上述技术方案后，本技术有益效果是：实现了高效率的转移工作，降低了晶圆转移时的步骤节拍和时间，环境因素影响降低至最小，掉落、污染、人工失误等环节的失误降低到最低，并且可以实现标准化作业。
附图说明
[0006]图1是本技术一种用于6英寸、8英寸、12英寸晶舟盒的晶片推导转移工具的构造主视图。
[0007]图2是本技术的三维立体图。
[0008]图中：推头1；推杆2；启动手柄3；滑动轨道4；微调手柄5；卡槽6。
具体实施方式
[0009]下面接合附图和具体实施方式对本技术进一步详细描述：如图1给出的技术的结构原理示意图，推头1；推杆2；启动手柄3；滑动轨道4；微调手柄5；卡槽6所述的卡槽6中设置有同晶舟盒配合的卡位装置；所述的；微调手柄5可以调整卡槽6的高度；所述滑动轨道4确保无抖动推动推头1。
[0010]作为本技术的优选方案，将晶舟盒对准方向放入卡槽6，拨动微调手柄5到设置高度。推动启动手柄3，在滑动轨道4导向作用下，平稳推动推头1推杆2。待晶舟盒内晶片
到达指定位置，退回启动手柄3到起始位置。
[0011]以上所述仅为本专利技术专利的较佳实施例，并不用以限制本专利技术专利，凡在本专利技术专利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术专利的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于6英寸、8英寸、12英寸晶舟盒的晶片推导转移工具，其特征在于包含推头（1）推杆（2）启动手柄（3）滑动轨道（4）微调手柄（5）和卡槽（6）所述的卡槽（6）中设置有同晶舟盒配合的卡位装置；所述的微调手柄（5）可以调整卡槽（6）的高度；所述滑动轨道（4）确保无抖动推动推头（1）。2.根据权利要求1所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲大鲁，
申请(专利权)人：曲大鲁，
类型：新型
国别省市：