【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用将水晶切成薄片而形成的水晶晶片，来形成诸如压电振子等等的振动片的振动片制造方法。原有的诸如振动片等等的压电振子的振动片制造方法，如图7至附图说明图10所示，并由下述的工序(1)～(14)构成。首先在如图7所示的工序(1)，即“晶片粘接”工序中，将预先切成40～120μm左右的水晶晶片100，以手工作业方式用蜡101粘接至预定片数(20～60枚)，使其叠层化。该作业是在电热板102上放置比晶片100厚的玻璃(或水晶晶片)103，加热至预定温度(至一百几十摄氏度)，并在其表面上涂复蜡101。使用夹具将一枚晶片100粘合在其上，并重复进行操作。然后，在叠到预定枚数的晶片100的上面，再涂复蜡101，粘合上玻璃103。这样，在用两枚玻璃103夹持住叠层的晶片100而呈一体化后，再用布等撑去表面上的蜡污物(擦除作业)。然后在工序(2)，即“X切断”工序中，用金钢石锯沿X方向(图中箭头所示方向)，将块状的晶片100切成短片状，形成中间体100B。其切断宽度，可为制成后的振动片的长方侧或短片侧的长度。在工序(3)，即“X抛光”工序中，对于上述工序(2)中切...
【技术保护点】
一种振动片用制造方法，其特征在于它具有在相临的水晶晶体之间夹有光固化型粘接剂，而使若干枚水晶晶片叠层化，并在该叠层化了的若干枚前述水晶晶片的两侧通过前述粘接剂设置两枚第一隔板，而形成叠层化了的水晶晶片组的粘接剂涂复工序， 用光源发出的光照射前述水晶晶片组，使前述粘接剂固化而形成水晶晶片叠层体的粘接剂固化工序， 按预定形状切断前述水晶晶片叠层体，而形成振动片叠层体的切断工序， 将前述振动片叠层体浸渍在前述粘接剂溶剂中，以将前述第一隔板和振动片一个个分离开的分离工序。
【技术特征摘要】
JP 1996-3-28 73723/961.一种振动片用制造方法，其特征在于它具有在相临的水晶晶体之间夹有光固化型粘接剂，而使若干枚水晶晶片叠层化，并在该叠层化了的若干枚前述水晶晶片的两侧通过前述粘接剂设置两枚第一隔板，而形成叠层化了的水晶晶片组的粘接剂涂复工序，用光源发出的光照射前述水晶晶片组，使前述粘接剂固化而形成水晶晶片叠层体的粘接剂固化工序，按预定形状切断前述水晶晶片叠层体，而形成振动片叠层体的切断工序，将前述振动片叠层体浸渍在前述粘接剂溶剂中，以将前述第一隔板和振动片一个个分离开的分离工序。2.如权利要求1所述的振动片用制造方法，其特征在于还具有洗净前述分离开的振动片的洗净工序。3.如权利要求1或2所述的振动片用制造方法，其特征在于前述粘接剂涂复工序，是向叠层化的前述水晶晶片的各水晶晶片之间，以及前述水晶晶体和第一隔板之间，浸透入前述粘接剂，以形成前述水晶晶片组。4.如权利要求1、2或3所述的振动片用制造方法，其特征在于前述粘接剂涂复工序，是将前述各水晶晶片和前述第一隔板一枚枚地浸渍在前述粘接剂溶液中，并使前述各水晶晶片和第一隔板以一端侧为支点，向另一端侧一枚枚依次叠置而叠层化，以形成前述水晶晶片组。5.如权利要求1至4所述的振动片制造方法，其特征在于前述粘接剂固化工序具有将前述水晶晶片组设置在平面上，在其上施加荷载的膜厚调整工序，在施加前述荷载的状态下，用前述光源发出的光照射的固化工序。6.如权利要求5所述的振动片用制造方法，其特征在于前述荷载为设置在前述水晶晶片组的上表面中央部的遮光性重物。7.如权利要求1至6中任一项所述的振片用制造方法，其特征在于前述切断工序具有，将前述水晶晶片叠层体沿X轴方向切断，以形成同一宽度的若干个中间体的X切断工序，和将前述中间体横向放倒，呈上下由两枚第二隔板夹住的状态并实施粘接后，沿与前述X轴方向正交的Z轴方向切断而形成前述振动片叠层体的Z切断工序。8.如权利要求7所述的振动片用制造方法，其特征在于前述Z切断工序中，由前述两枚第二隔板夹住的是呈横向放倒状态的、端部对齐并列设置的若干个前述中间体。9.如权利要求7或8所述的振动片用制造方法，其特征在于前述第二隔板的粘接，是用前述光固化型粘接剂进行的。10.如权利要求7、8或9...
【专利技术属性】
技术研发人员：代田光，唐泽和夫，铃木克己，藤崎昌伸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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