振动片用制造方法技术

本发明专利技术提供了一种不需要熟练作业技术，可实现自动化、提高制造时的有效利用率并可保持良好作业环境的制造片用制造方法。其解决方案是，向用隔板２夹住的水晶晶片１的水晶晶片组４，浸渍入具有水溶性和ＵＶ固化性的厌气性粘接剂３，在膜后调整后，用ＵＶ灯６使粘接剂３固化。在实施一次切断后，再用隔板８夹住开粘接，进行第二次切断，并去除隔板８。然后用放有溶剂１２的循环溢流槽１５膨润、溶解并洗净粘接剂３之后，去除隔板２，形成振动片１４。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用将水晶切成薄片而形成的水晶晶片，来形成诸如压电振子等等的振动片的振动片制造方法。原有的诸如振动片等等的压电振子的振动片制造方法，如图7至附图说明图10所示，并由下述的工序(1)～(14)构成。首先在如图7所示的工序(1)，即“晶片粘接”工序中，将预先切成40～120μm左右的水晶晶片100，以手工作业方式用蜡101粘接至预定片数(20～60枚)，使其叠层化。该作业是在电热板102上放置比晶片100厚的玻璃(或水晶晶片)103，加热至预定温度(至一百几十摄氏度)，并在其表面上涂复蜡101。使用夹具将一枚晶片100粘合在其上，并重复进行操作。然后，在叠到预定枚数的晶片100的上面，再涂复蜡101，粘合上玻璃103。这样，在用两枚玻璃103夹持住叠层的晶片100而呈一体化后，再用布等撑去表面上的蜡污物(擦除作业)。然后在工序(2)，即“X切断”工序中，用金钢石锯沿X方向(图中箭头所示方向)，将块状的晶片100切成短片状，形成中间体100B。其切断宽度，可为制成后的振动片的长方侧或短片侧的长度。在工序(3)，即“X抛光”工序中，对于上述工序(2)中切成短片状而形成的中间体100B的两个切断面100X，用抛光盘104进行抛光。在抛光操作结束后，在图8所示的工序(4)，即“Z粘接”工序中，将若干枚中间体100B并排放置，将作为所谓的隔板的、与上述玻璃103类似的玻璃(或水晶晶片)105，粘附在已抛光的中间体100B的两面100X上。这时，使用具有浸透性的粘接剂。在粘接后干燥1～2小时。然后在工序(5)，即“Z切断”工序中，用钢丝锯沿相对于晶片100的垂直方向(Z方向)，将其切断成短片状，而形成振动片叠层体120。可利用该切断确定振动片的平面形状。在工序(6)，即“Z抛光”工序中，对于上述工序(5)中切成短片状而形成的振动片叠层体120的两个切断面120Z，用抛光盘104进行抛光。然后在图9所示的工序(7)，即“浸渍”工序中，将由工序(6)抛光了的振动片叠层体120放入笼106内，用二甲替甲酰胺溶液107进行浸渍，以溶解浸透性粘接剂。在溶解掉浸透性粘接剂后，由工序(8)，即“隔板去除”工序，将振动片叠层体120从笼106中取出，去掉玻璃105(隔板)，而形成阶段制成体121。在工序(9)，即“超声波浸渍”工序中，将该阶段制成体121再次放入笼106中，在超声波清洁杯108内的添加有60℃的表面活性剂的有机溶剂溶液(向有机溶剂加入了表面活性剂的溶液)109中浸渍预定的时间。这时，通过安装在杯108底面的超声波发生器110产生的超声波振动和添加有表面活性剂的有机溶剂溶液的作用，溶解阶段制成体121内的蜡101。在工序(10)，即“蜡分离”工序中，在超声波清洁杯108内的添加有表面活性剂的有机溶剂溶液109中上下振动笼106，溶解附着在阶段制成体121上的蜡101，分离开一个个的振动片122。然后在图10所示的工序(11)，即“除去添加有表面活性剂的有机溶剂”工序中，将放入有振动片122的笼106放在布111上，以擦去添加有表面活性剂的有机溶剂溶液109。在工序(12)，即“脱脂”工序中，将放入有振动片122的笼106浸渍在超声波洗净杯108内，并在该杯108内的添加有60℃的表面活性剂的碱溶液(在氟氧化钠中加入表面活性剂的溶液)112中上下振动，以除去附着在振动片122上的蜡101等等的脂成分。在工序(13)，即“水洗”工序中，将放入有振动片122的笼106放入洗净杯113内，从上面用喷淋喷咀114喷出的水进行清洗。在工序(14)，即“溢流水洗”工序中，将放入有振动片122的笼106放入洗净杯115内，一边上下振动笼106，一边由洗净杯115底面附近的开口116处送入水，从而进行溢流洗净。然后干燥振动片122，并用公知的频率调整工序，按所需的频率对振动片122进行调节。然而对于上述原有技术中的制造方法，在上述工序(1)中必须要在一百几十摄氏度的高温下进行长时间的手工作业，所以作业环境不好。而且将薄片晶片100一枚枚地叠层化，必须要注意不损伤晶片100，不在晶片100之间形成气泡，而且要厚薄均匀涂复蜡101，所以需要操作熟练的技工。因此，不可能使该作业工序自动化。而且，作为粘接剂夹在晶片100之间的蜡101是柔软的且厚度较厚，所以在上述工序(2)～(6)的加工工序中或者容易产生表面缺陷(切口)，或者晶片100彼此间散开。由此，存在有由于表面缺陷而产生的振动片的寄生和低电压驱动待性(LDL)的恶化，以及由于散离而产生的振动片制造时的有效利用率恶化等等问题。而且在上述工序(9)、(10)中，由于添加有表面活性剂的有机溶剂溶液的挥发性较高，所以存在有要使用除去麻烦的有机溶剂，使作业环境难以保证，以及作业后有机溶剂的善后操作麻烦等等问题。本专利技术就是要解决上述问题，其目的是提供一种不需要作业熟练的技工，并可提高振动片制造时的有效利用率和作业环境，作业后的善后容易，可实现作业工序自动化的。为了能解决上述问题，可采用本专利技术的如权利要求1所述的，它具有将光硬化型粘接剂夹装在邻接的水晶晶片之间并使若干枚水晶晶片重叠，同时在该叠层化了的若干枚水晶晶片的两侧通过粘接剂设置两枚第一隔板，而形成叠层化了的水晶晶片组的粘接剂涂复工序；用充源的光照射水晶晶片组，使粘接剂硬化而形成水晶晶片叠层体的粘接剂硬化工序；按预定形状切断水晶晶片叠层体以形成振动片叠层体的切断工序，以及将振动片叠层体浸清在粘接剂溶剂中，以将第一隔板和振动片一个个分离开的分离工序。这样，由于是在使邻接的水晶晶片之间和水晶晶片和第一隔板之间呈夹有光硬化性的粘接剂的状态，而使若干枚水晶晶片和第一隔板叠层化，并当用光源的光照射而硬化粘接剂的，所以在振动片制造中的切断工序之前的工序中，在使水晶晶片叠层化时不需要熟练技术。因此，可以提高作业效率和加工精度，提高振动片制造时的有效利用率，进而可使作业工序自动化。而且，不再需要原先的在一百几十摄氏度的高温下作业，而且不再使用有机溶剂，所以可以提高作业环境，并可使作业后的后处理工作容易进行。在上述方法中，最好还包括清洗已分离的振动片的洗净工序。若如此，便可在洗净工序中清洗振动片，将附着在振动片上的粘接剂冲洗掉。而且在上述方法中，若使粘接剂涂复工序为在叠层化了的若干枚水晶晶片的各水晶晶片之间，以及水晶晶片与第一隔板之间浸透入粘接剂，从而形成水晶晶片组的工序则更好些。若如此，在粘接剂涂复时在表面张力的作用下，粘接剂会浸透入各水晶晶体之间，以及水晶晶片与第一隔板之间。因此，不需要由熟练技工从事粘接剂涂复作业。而且在上述方法中，粘接剂涂复工序若为将各水晶晶片和第一隔板一枚枚地浸渍在粘接剂溶液中，同时各水晶晶片和第一隔板从其一端侧为支点向另一端侧依次叠置而叠层化，来形成水晶晶片组的工序，则更好些。若如此，在粘接剂涂复时在表面张力作用下，粘接剂会浸透入各水晶晶片之间，以及水晶晶片与第一隔板之间，而且在依次叠置时空气会向上方逸出，故空气不会残留在水晶晶片组内。因此，不需要熟练技工从事粘接剂涂复作业，还可减少随后的切断工序中会产生的表面缺陷，从而可提高其有效利用率。而且在上述方法中，若粘接剂固化工序具有将水晶晶片组设置在平面上，并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片用制造方法，其特征在于它具有在相临的水晶晶体之间夹有光固化型粘接剂，而使若干枚水晶晶片叠层化，并在该叠层化了的若干枚前述水晶晶片的两侧通过前述粘接剂设置两枚第一隔板，而形成叠层化了的水晶晶片组的粘接剂涂复工序， 用光源发出的光照射前述水晶晶片组，使前述粘接剂固化而形成水晶晶片叠层体的粘接剂固化工序， 按预定形状切断前述水晶晶片叠层体，而形成振动片叠层体的切断工序， 将前述振动片叠层体浸渍在前述粘接剂溶剂中，以将前述第一隔板和振动片一个个分离开的分离工序。

【技术特征摘要】
JP 1996-3-28 73723/961.一种振动片用制造方法，其特征在于它具有在相临的水晶晶体之间夹有光固化型粘接剂，而使若干枚水晶晶片叠层化，并在该叠层化了的若干枚前述水晶晶片的两侧通过前述粘接剂设置两枚第一隔板，而形成叠层化了的水晶晶片组的粘接剂涂复工序，用光源发出的光照射前述水晶晶片组，使前述粘接剂固化而形成水晶晶片叠层体的粘接剂固化工序，按预定形状切断前述水晶晶片叠层体，而形成振动片叠层体的切断工序，将前述振动片叠层体浸渍在前述粘接剂溶剂中，以将前述第一隔板和振动片一个个分离开的分离工序。2.如权利要求1所述的振动片用制造方法，其特征在于还具有洗净前述分离开的振动片的洗净工序。3.如权利要求1或2所述的振动片用制造方法，其特征在于前述粘接剂涂复工序，是向叠层化的前述水晶晶片的各水晶晶片之间，以及前述水晶晶体和第一隔板之间，浸透入前述粘接剂，以形成前述水晶晶片组。4.如权利要求1、2或3所述的振动片用制造方法，其特征在于前述粘接剂涂复工序，是将前述各水晶晶片和前述第一隔板一枚枚地浸渍在前述粘接剂溶液中，并使前述各水晶晶片和第一隔板以一端侧为支点，向另一端侧一枚枚依次叠置而叠层化，以形成前述水晶晶片组。5.如权利要求1至4所述的振动片制造方法，其特征在于前述粘接剂固化工序具有将前述水晶晶片组设置在平面上，在其上施加荷载的膜厚调整工序，在施加前述荷载的状态下，用前述光源发出的光照射的固化工序。6.如权利要求5所述的振动片用制造方法，其特征在于前述荷载为设置在前述水晶晶片组的上表面中央部的遮光性重物。7.如权利要求1至6中任一项所述的振片用制造方法，其特征在于前述切断工序具有，将前述水晶晶片叠层体沿X轴方向切断，以形成同一宽度的若干个中间体的X切断工序，和将前述中间体横向放倒，呈上下由两枚第二隔板夹住的状态并实施粘接后，沿与前述X轴方向正交的Z轴方向切断而形成前述振动片叠层体的Z切断工序。8.如权利要求7所述的振动片用制造方法，其特征在于前述Z切断工序中，由前述两枚第二隔板夹住的是呈横向放倒状态的、端部对齐并列设置的若干个前述中间体。9.如权利要求7或8所述的振动片用制造方法，其特征在于前述第二隔板的粘接，是用前述光固化型粘接剂进行的。10.如权利要求7、8或9...

【专利技术属性】
技术研发人员：代田光，唐泽和夫，铃木克己，藤崎昌伸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]