一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器技术

本发明专利技术涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，包括第一底电极、第一压电层、第一顶电极、第一钝化层和设有第一凹槽的第一衬底，第一底电极的材质为石墨烯，所述第一衬底的材质为碳化硅；一方面，选用材质为碳化硅的第一衬底，导热好，机械强度大，另一方面，制备材质为石墨烯的第一底电极，电阻率极低，满足导电需求，能够极大降低第一底电极的厚度，进而降低薄膜体声波谐振器的堆叠结构的厚度，提高谐振频率，同时还能增大第一压电层的占比，增大薄膜体声波谐振器的有效机电耦合系数，进而扩大薄膜体声波谐振器的通带宽度，提升薄膜体声波谐振器的性能。提升薄膜体声波谐振器的性能。提升薄膜体声波谐振器的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器


[0001]本专利技术涉及薄膜体声波谐振器
，尤其涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器。

技术介绍

[0002]随着无线通讯技术的飞速提升，未来的通信频谱朝着高频、宽带、高传输速率的方向发展。因此，通信行业对射频模块前端的滤波器提出了更高的性能要求。薄膜体声波谐振器(film bulk acoustic resonator，FBAR)作为近些年来的新兴技术，使用薄膜体声波谐振器制作的滤波器具有体积小、插损小、频率高、功率容量高的特点，逐步成为了许多移动终端中滤波器件的不二选择。
[0003]薄膜体声波谐振器大致由三部分组成，即金属薄膜/压电材料/金属薄膜堆叠的“三明治”结构，其工作原理基于压电材料的压电效应和逆压电效应，其谐振频率与垂直方向的堆叠结构厚度呈反比关系，而有效机电耦合系数与压电材料在堆叠结构厚度的占比呈正比关系。在薄膜体声波谐振器中，金属薄膜主要起导电作用，其厚度一方面制约着工作频率的提升，另一方面制约着滤波器的损耗和功率容量。因此，如何在不损失导电性的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括第一底电极、第一压电层、第一顶电极、第一钝化层和第一衬底，所述第一底电极的材质为石墨烯，所述第一衬底的材质为碳化硅，所述第一底电极、所述第一压电层、所述第一顶电极和所述第一钝化层依次层叠设置所述第一衬底上，所述第一衬底的下表面开设有第一凹槽，且所述第一凹槽的底部露出所述第一底电极。2.根据权利要求1所述的一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一压电层的材质为氮化铝、铌酸锂或钽酸锂。3.根据权利要求1所述的一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一钝化层的材质为二氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫鑫，陈晓阳，张智欣，陈长娥，于海洋，倪烨，
申请(专利权)人：北京航天微电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：