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本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，包括第一底电极、第一压电层、第一顶电极、第一钝化层和设有第一凹槽的第一衬底，第一底电极的材质为石墨烯，所述第一衬底的材质为碳化硅；一方面，选用材质为碳化硅的第一衬底，导热好，机械强...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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