【技术实现步骤摘要】
所属的技术人员知道，本申请可以实现为系统、方法或计算机程序产品。因此，本公开可以具体实现为以下形式，即：可以是完全的硬件、也可以是完全的软件(包括固件、驻留软件、微代码等)，还可以是硬件和软件结合的形式，本文一般称为“电路”、“模块”或“系统”。此外，在一些实施例中，本申请还可以实现为在一个或多个计算机可读介质中的计算机程序产品的形式，该计算机可读介质中包含计算机可读的程序代码。可以采用一个或多个计算机可读的介质的任意组合。计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质。计算机可读存储介质例如可以是一一但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括:具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机存取存储器(ram),只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本文件中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程...
【技术保护点】
1.一种阻挡飞溅物的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，构建钝化层的步骤，具体包括：
3.根据权利要求2所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，所述SAW器件的设计结构包括：镜像结构、常规结构、扇形结构、纵向耦合结构、横向耦合结构和阻抗元结构。
4.根据权利要求3所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，所述影响特征包括：镜像结构、常规结构以及扇形结构的SAW器件对所述钝化层的厚度不敏感；在相对膜厚为3％的厚度范围内，所述钝化层的厚度增加只影响SAW器件的频率。
5.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种阻挡飞溅物的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，构建钝化层的步骤，具体包括：
3.根据权利要求2所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，所述saw器件的设计结构包括：镜像结构、常规结构、扇形结构、纵向耦合结构、横向耦合结构和阻抗元结构。
4.根据权利要求3所述的阻挡飞溅物的方法，其特征在于，所述影响特征包括：镜像结构、常规结构以及扇形结构的saw器件对所述钝化层的厚度不敏感；在相对膜厚为3％的厚度范围内，所述钝化层的厚度增加只影响saw器件的频率。
5.根据权利要求4所述的阻挡...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁燕，倪烨，于海洋，孟腾飞，范佰杰，王永安，冯志博，陈瑞，周培根，李希雯，闫彬，何志新，常子硕，
申请(专利权)人：北京航天微电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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