用于电极结构制作的方法、电极结构和体声波谐振器技术

本申请涉及谐振器技术领域，公开一种用于电极结构制作的方法，包括：在预设的电极层上淀积介质层；所述介质层用于保护所述电极层；在所述介质层远离所述电极层的一侧形成牺牲层，所述牺牲层暴露出所述介质层；在所述牺牲层和暴露出的介质层上淀积金属层；刻蚀不与所述牺牲层接触的金属层并腐蚀所述牺牲层，使得所述金属层与所述介质层之间形成空气隙结构。这样，将这种制作出来的电极结构应用到体声波谐振器上时，能够在保证谐振器Q值的同时准确反射与谐振器频率相同的横向声波。本申请还公开一种电极结构和体声波谐振器。开一种电极结构和体声波谐振器。开一种电极结构和体声波谐振器。

【技术实现步骤摘要】
用于电极结构制作的方法、电极结构和体声波谐振器


[0001]本申请涉及谐振器
，例如涉及一种用于电极结构制作的方法、电极结构和体声波谐振器。

技术介绍

[0002]体声波谐振器的原理是通过在上下电极之间施加电信号，然后利用压电层的压电效应产生声信号，声信号在电极之间震荡会产生横向声波和纵向声波。由于与谐振器频率相同的横向声波没有被较好地束缚在体声波谐振器本体以内，导致体声波谐振器的Q值较低。
[0003]在实现本专利技术实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：现有制作工艺制作出来的电极结构，在应用到谐振器上时，无法在保证谐振器Q值的同时准确反射与谐振器频率相同的横向声波。

技术实现思路

[0004]为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键／重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。
[0005]本专利技术实施例提供一种用于电极结构制作的方法、电极结构和体声波谐振器，以便于制造能够保证谐振器Q值的同时准确反射与谐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于体声波谐振器的电极结构制作的方法，其特征在于，包括：在预设的电极层上淀积介质层；所述介质层用于保护所述电极层；在所述介质层远离所述电极层的一侧形成牺牲层，所述牺牲层暴露出所述介质层；在所述牺牲层和暴露出的介质层上淀积金属层；刻蚀不与所述牺牲层接触的金属层并腐蚀所述牺牲层，使得所述金属层与所述介质层之间形成空气隙结构。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，刻蚀不与所述牺牲层接触的金属层并腐蚀所述牺牲层，使得所述金属层与所述介质层之间形成空气隙结构，包括：刻蚀不与所述牺牲层接触的金属层形成第一通孔；所述第一通孔暴露出所述介质层；在所述金属层和暴露出的介质层上淀积钝化层；腐蚀所述牺牲层，使得所述金属层与所述介质层之间形成空气隙结构。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述介质层由氮化硅、氮化铝、氧化硅和氮氧化硅中的一种或多种制成。4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述电极层由具有导电性能的钼、铝、铜、铂、钽、钨、钯和钌中的一种或多种制成。5.根据权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：深圳新声半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：