【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检查系统，该系统备有检查所制造的半导体零部件是否良好的检查装置，及将半导体零部件取入取出于检查装置的操作装置，尤其涉及收集与上述检查装置及操作装置的运行状态有关的信息。在IC或LSI等半导体零部件制造车间，历来要检查所制造的半导体零部件是否满足规定的特性。该检查过程运行一种检查系统，该系统备有检查装置和操作装置。所述检查装置在半导体零部件位于规定检查条件(如，输入电压、环境温度、工作频率等)下，测定该条件下的特性(如，放大率，温度变化，暂态特性等)；所述操作装置将半导体零部件搬入或搬出预定位置，以便检查装置能对半导体零部件进行检查。为了适应各种半导体零部件种类及检查项目，通常准备有多种检查装置及操作装置，并组合使用这些检查装置及操作装置应用于制造的半导体零部件的种类及检查项目。检查装置，组合上适用于广泛用途，其规模较大，故通常安装在车间内规定位置处在固定状态下使用。相反，操作装置具有搬入及搬出半导体零部件中的功能，是可移动的，原则上根据半导体零部件种类及检查项目等选择使用。因此，有选择地将某些需要且适合的操作装置连接于固定的检查装置，就能测定每...
【技术保护点】
一种检查系统，其特征在于，包含：检查被检查物对其质量作出判断的检查手段；将所述被检查物装上或取下于所述检查手段的操作手段；对所述被检查物计数的计数手段；收集与检查手段和操作手段运行状态有关的运行状态数据的收集手段，所述运行状 态数据包括被检查物等待检查手段检查的等机时间，检查手段检查被检查物的检查时间，和由所述操作手段装上、取下被检查物的交换时间；和根据存储在存储手段中的运行状态数据、为提供所述检查手段和操作手段的最佳组合而计算所述检查手段和操作手段检查某个 被检查物所需运行时间的计算手段。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 1996-12-10 346766/961.一种检查系统，其特征在于，包含检查被检查物对其质量作出判断的检查手段；将所述被检查物装上或取下于所述检查手段的操作手段；对所述被检查物计数的计数手段；收集与检查手段和操作手段运行状态有关的运行状态数据的收集手段，所述运行状态数据包括被检查物等待检查手段检查的等机时间，检查手段检查被检查物的检查时间，和由所述操作手段装上、取下被检查物的交换时间；和根据存储在存储手段中的运行状态数据、为提供所述检查手段和操作手段的最佳组合而计算所述检查手段和操作手段检查某个被检查物所需运行时间的计算手段。2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述操作手段运行状态数据包含表示所述操作手段是否连接于所述收集手段的连接状态数据。3.如权利要求2所述的检查系统，其特征在于，所述操作手段具有标识号，所述操作手段的所述运行状态数据使用所述识别号加以区别。4.如权利要求2所述的检查系统，其特征在于，指定所述...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。