【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种被装入光学拾像装置等所用受光元件中的分路光电二极管，具体地说，本专利技术涉及一种具有可提供响应速度得到改善的分路光电二极管。光学拾像装置被用于包括CD-ROM、DVD(数字多用盘)等在内的各类光盘设备。近些年来，尤其是DVD已经愈益得到积极的和迅速的发展。目前，这样的光盘设备都需要处理大量的对于存储移动画片等所必须的数据。另外，最可能的是具有两倍或甚至四倍于现有DVD响应速度那样快的DVD将在不久的将来得到开发。鉴于这些情况，迫切地需求实现尽可能高的光学拾像装置响应速度。分路光电二极管中将受光区分成多个光检测区域，这种二极管已惯用为光学拾像装置的信号探测元件。随着近年来小尺寸的高性能光盘设备的实现，减小光学拾像装置的尺寸和重量已变得越来越重要。为了实现这样的光学拾像装置，提出一种具有单个全息元件的光学组件，其中使追踪光束发生部分、光分支部分以及误差信号发生部分成为一体。将这种光学组件设在被一体化整装于其内的激光二极管、光电二极管等的顶部表面。附图说明图18表示带这种光学组件的光学拾像装置的光学系统的概略布置图。以下将简述这种光学系统的信号检...
【技术保护点】
一种分路光电二极管，包括： 一个第一种导电类型的半导体基板； 一个第二种导电类型的半导体层，它形成于该半导体基板的表面上； 多个第一种导电类型的隔离扩散区，每个隔离扩散区都由至少一层构成，在所述半导体层中的多个区域内形成多个隔离扩散区，分别从所述半导体层的表面相对于它的与所述半导体基板连接的另一个表面伸展，到达该半导体基板表面下的区域，所述多个隔离扩散区将所述半导体层分成至少三个第二种导电类型的半导体区域； 其特征在于，使光照射在多个借助分隔区而彼此相邻的半导体区域组合的一个分隔区附近，所述多个半导体区域至少有三个，它们被多个隔离扩散区分开，还使所述...
【技术特征摘要】
JP 1997-1-27 12938/971.一种分路光电二极管，包括一个第一种导电类型的半导体基板；一个第二种导电类型的半导体层，它形成于该半导体基板的表面上；多个第一种导电类型的隔离扩散区，每个隔离扩散区都由至少一层构成，在所述半导体层中的多个区域内形成多个隔离扩散区，分别从所述半导体层的表面相对于它的与所述半导体基板连接的另一个表面伸展，到达该半导体基板表面下的区域，所述多个隔离扩散区将所述半导体层分成至少三个第二种导电类型的半导体区域；其特征在于，使光照射在多个借助分隔区而彼此相邻的半导体区域组合的一个分隔区附近，所述多个半导体区域至少有三个，它们被多个隔离扩散区分开，还使所述光实际上照射在所述多个半导体区域组合以外的半导体区域中心；在除位于所述多个半导体区域组合中的分隔区内的特定隔离扩散区以外的其余隔离扩散区下面还形成第一种导电类型的第一埋置扩散区，并通过加给反偏压而抑制所述其余隔离扩散区域下的区域内半导体基板的消耗。2.一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，在位于多个半导体区域组合内的分隔区域中的特定隔离扩散区下的区域内省去第一埋置扩散区结构。3.一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，所述半导体基板的电阻率大约为100Ωcm或更大。4.一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，在形成所述第一埋置扩散区下的所述其余隔离扩散区的上方形成抑制杂散光照射于第一埋置扩散区上用的遮光膜。5.一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，使所述第一埋置扩散区形成具有等于或大于约5μm的扩散深度Xj。6一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，使所述第一埋置扩散区形成具有约1×1017atoms/cm3或更小的表面浓度。7.一种如权利要求1所述的分路光电二极管，其特征在于，使所述第一埋置扩散区及所述其余隔离扩散区制成在该第一埋置扩散区与所述其余隔离扩散区之间的连接区内具有约5×1014atoms/cm3或更大的浓度。8.一种如...
【专利技术属性】
技术研发人员：福永直树，泷本贵博，久保胜，
申请(专利权)人：夏普公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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