腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造设备领域。腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，包括一用于安装隔热板的腔体，腔体的上下开口，腔体的侧壁上开设有排风口，排风口安装有排风法兰，排风法兰的中央开设有矩形开口，排风法兰的四个角部设有连接孔；还包括一矩形石英挡板，矩形石英挡板的面积小于矩形开口的面积，矩形石英挡板的上侧或者下侧开设有左右设置且用于安装在矩形开口的单侧的安装孔；还包括排风转接头，排风转接头与排风法兰可拆卸连接，且排风转接头与排风法兰之间设有密封圈；排风转接头上设有用于对接排风管路的圆形法兰盘。本专利通过优化熔融机隔热板腔体排风结构，便于针对于不同的工况进行调整。便于针对于不同的工况进行调整。便于针对于不同的工况进行调整。

【技术实现步骤摘要】
腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构


[0001]本技术涉及半导体制造设备领域，具体是腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构。

技术介绍

[0002]腔体式熔融机中隔热板腔体是组成部件之一。隔热板腔体内摆放有隔热板，实现隔热板上下两个腔体的分隔隔热。
[0003]传统的单一机台排风口的尺寸以及位置均为恒定不变的。目前缺乏一种可以实现对隔热板腔体的排风口尺寸以及位置调节的结构。无法适用于不同的工艺要求。通用性差。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题，本技术提供腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，以解决现有的光伏屋面安装结构安装强度不佳技术问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，包括一用于安装隔热板的腔体，所述腔体的上下开口，所述腔体的侧壁上开设有排风口，其特征在于，所述排风口安装有排风法兰，所述排风法兰的中央开设有矩形开口，所述排风法兰的四个角部设有连接孔；
[0006]还包括一矩形石英挡板，所述矩形石英挡板的面积小于所述矩形开口的面积，所述矩形石英挡板的上侧或者下侧开设有左右设置且用于安装在所述矩形开口的单侧的安装孔；
[0007]还包括排风转接头，所述排风转接头与所述排风法兰可拆卸连接，且所述排风转接头与所述排风法兰之间设有密封圈；
[0008]所述排风转接头上设有用于对接排风管路的圆形法兰盘。
[0009]本专利通过优化熔融机隔热板腔体排风结构，便于针对于不同的工况进行调整。将排风法兰上开设有矩形开口，便于放置矩形石英挡板实现排风口的尺寸的调节；
[0010]矩形石英挡板可以固定在排风法兰的上侧或下侧，对应实现隔热板下部或上部的腔内排风。
[0011]增设有排风转接头，方便排风管道连接。
[0012]进一步优选地，所述排风法兰包括向腔体内侧延伸的内凹部，所述内凹部的中央开设有所述矩形开口，所述矩形开口的四个角部连接有安装片，所述安装片上开设有所述连接孔；
[0013]所述连接孔用于连接所述矩形石英挡板。
[0014]进一步优选的，所述腔体的侧壁开设有四个周向排布的所述排风口。
[0015]便于实现散热的均匀性。通过均布的排风口可在一定程度上保证腔内气体均匀流动。
[0016]进一步优选的，所述腔体内焊接固定有用于摆放隔热板的摆放平台，所述隔热板
摆放在所述摆放平台上；
[0017]所述排风口正对所述隔热板。
[0018]便于实现对隔热板上侧腔室或者下侧腔室的排风。
[0019]进一步优选的，所述隔热板摆放平台上设有隔热板高度调节机构，所述矩形开口正对所述隔热板高度调节机构。便于隔热板高度的调节。
[0020]隔热板高度调节机构可以是螺纹连接所述隔热板摆放平台的螺栓。通过旋转螺栓实现对隔热板高度的调节。隔热板的上下移动范围位于所述矩形开口区域内。
[0021]进一步优选的，所述矩形石英挡板的纵向长度不小于所述矩形开口的一半。
[0022]便于实现隔热板上下两腔室的单腔室排风。
[0023]进一步优选的，所述排风法兰上设有用于嵌入密封圈的限位槽；
[0024]所述连接孔位于所述限位槽的内侧。
[0025]便于密封圈的固定。
[0026]进一步优选的，所述排风法兰上焊接固定有安装片，所述安装片上开设有所述连接孔，所述连接孔是螺纹孔。
[0027]便于实现螺栓对矩形石英挡板的固定。
[0028]进一步优选的，所述排风法兰上还设有用于连接所述排风转接头的安装位，所述安装位位于所述限位槽的外围。
[0029]进一步优选的，所述排风转接头包括内外设置的内壳体以及外壳体，所述内壳体以及所述外壳体之间设有用于输送冷却介质的通道；
[0030]所述外壳体上开设有进口以及出口，所述进口以及出口与所述通道导通。
[0031]由于腔体工作时腔内温度高，所排气体亦带高温，因而将排风转接头设计为双层结构，工作过程中可通水冷却。
[0032]进一步优选的，所述进口位于所述排风转接头的底部，所述出口位于所述排风转接头的顶部侧壁。
附图说明
[0033]图1为本技术具体实施例1的局部结构示意图；
[0034]图2为本技术具体实施例1的矩形石英挡板的一种结构示意图；
[0035]图3为本技术具体实施例1排风法兰上安装有矩形石英挡板的一种结构示意图；
[0036]图4为本技术具体实施例1排风法兰上安装有矩形石英挡板的另一视角下的一种结构示意图；
[0037]图5为本技术具体实施例1安装有排风转接头的一种结构示意图；
[0038]图6为本技术具体实施例1排风转接头的一种结构示意图。
[0039]其中：1为腔体，2为隔热板，3为排风法兰，4为矩形石英挡板，5为排风转接头，
具体实施方式
[0040]下面结合附图对本技术做进一步的说明。
[0041]参见图1至图6，具体实施例1：腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，包括
一用于安装隔热板2的腔体1，腔体1的上下开口，腔体1的侧壁上开设有排风口，排风口安装有排风法兰3，排风法兰3的中央开设有矩形开口，排风法兰3的四个角部设有连接孔；还包括一矩形石英挡板4，矩形石英挡板4的面积小于矩形开口的面积，矩形石英挡板4的上侧或者下侧开设有左右设置且用于安装在矩形开口的单侧的安装孔；还包括排风转接头5，排风转接头5与排风法兰3可拆卸连接，且排风转接头5与排风法兰3之间设有密封圈；排风转接头5上设有用于对接排风管路的圆形法兰盘。腔体的上下开口对接其他腔室。排风转接头5安装在矩形开口的外围。
[0042]排风法兰包括向腔体内侧延伸的内凹部，内凹部的中央开设有矩形开口，矩形开口的四个角部连接有安装片，安装片上开设有所述连接孔；连接孔用于连接矩形石英挡板。
[0043]腔体1的侧壁开设有四个周向排布的排风口。便于实现散热的均匀性。通过均布的排风口可在一定程度上保证腔内气体均匀流动。
[0044]腔体1内焊接固定有隔热板摆放平台，隔热板2摆放在摆放平台上；排风口正对隔热板2。便于实现对隔热板2上侧腔室或者下侧腔室的排风。隔热板2摆放平台上设有隔热板2高度调节机构，矩形开口正对隔热板2高度调节机构。便于隔热板2高度的调节。隔热板2高度调节机构可以是螺纹连接隔热板2摆放平台的螺栓。通过旋转螺栓实现对隔热板2高度的调节。隔热板2的上下移动范围位于矩形开口区域内。
[0045]矩形石英挡板4的纵向长度不小于矩形开口的一半。便于实现隔热板2上下两腔室的单腔室排风。
[0046]排风法兰3上设有用于嵌入密封圈的限位槽；连接孔位于限位槽的内侧。便于密封圈的固定。
[0047]排风法兰3上焊接固定有安装片，安装片上开设有连接孔，连接孔是螺纹孔。便于实现螺栓对矩形石英挡板4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，包括一用于安装隔热板的腔体，所述腔体的上下开口，所述腔体的侧壁上开设有排风口，其特征在于，所述排风口安装有排风法兰，所述排风法兰的中央开设有矩形开口，所述排风法兰的四个角部设有连接孔；还包括一矩形石英挡板，所述矩形石英挡板的面积小于所述矩形开口的面积，所述矩形石英挡板的上侧或者下侧开设有左右设置且用于安装在所述矩形开口的单侧的安装孔；还包括排风转接头，所述排风转接头与所述排风法兰可拆卸连接，且所述排风转接头与所述排风法兰之间设有密封圈；所述排风转接头上设有用于对接排风管路的圆形法兰盘。2.根据权利要求1所述的腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，其特征在于：所述排风法兰包括向腔体内侧延伸的内凹部，所述内凹部的中央开设有所述矩形开口，所述矩形开口的四个角部连接有安装片，所述安装片上开设有所述连接孔；所述连接孔用于连接所述矩形石英挡板。3.根据权利要求1所述的腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，其特征在于：所述腔体内焊接固定有用于摆放隔热板的摆放平台，所述隔热板摆放在所述摆放平台上；所述排风口正对所述隔热板。4.根据权利要求3所述的腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，其特征在于：所述隔热板摆放平台上...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏孝平，贺贤汉，徐淑文，曹豪杰，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：