半导体制造设备控制系统中配置设备单元工作状态控制法技术方案

一种半导体制造设备的控制系统中配置设备单元的状态控制方法，其中，主计算机中包括有预定的单元状态监控模块，通过单元状态监控模块能实时识别不正常工作单元，当识别出正常工作单元时立即将其与正常工作流程分开，结果，防止了由不正常工作单元造成的工作问题并提高了设备的生产力。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造设备控制系统中配置设备单元的工作状态控制方法，特别涉及半导体制造设备控制系统中配置设备单元的工作状态实时识别方法，和当用预定的单元监控模块识别出不正常工作的单元时把不正常工作单元与正常工作单元立即分开的方法。一般通过高精密工艺来制造半导体器件。把高功能设备配置在半导体生产线上，用于高精密加工。操作员通过半导体制造设备的控制系统精心监视设备的操作，以提高设备的工作效率。如附图说明图1所示，半导体制造设备3设置在生产线上。待加工的批量加工件(lot)10加入到设备3中。此时，操作员通过与设备3联机连接的操作员接口PC(O/I PC)2精心监视设备3的工作。设备3用设备服务器(没画)联机连接到主计算机1。主计算机1联机连接至O/I PC2。当操作员把基本制造数据，例如，要在设备3中加工的批量加工件10的标识符(ID)和要对批量加工件10进行加工的设备3的标识符(ID)，输入计算机1时，主计算机1根据输入的基本制造数据检索用于处理批量加工件10的加工条件数据的数据库。此后，操作员检查加工条件数据，并输入加工起始指令或终止指令。之后，批量加工件在设备3的内外快速被跟踪。此时，设备3用其工作单元，例如，加载部件和卸载部件(没画)，室4等，对批量加工件10进行加工。设备3对批量加工件10进行加工时，操作员通过O/I PC2对设备3的工作精心监视，以连续识别单元的工作状态，如果某单元中出现了任何问题，例如，室4中的一个室出了问题，操作员立即切断设备，停止整个加工。由此防止因不正常工作单元造成的工作问题。但是，这种半导体制造设备的常规控制系统有一些问题。首先，即使只在设备的几个单元中出现了错误而其它单元还是正常工作的情况下，操作员很难实时识别不正常工作的单元。结果，当识别出不正常工作的单元时，不能立即把不正常工作单元与正常加工流程分开。第二，把批量加工件加进不正常工作单元时，会出现工作问题。第三，当识别出不正常工作单元时，为了维修不正常工作单元要关闭整个设备。本专利技术的目的是，通过包含在主计算机中的单元状态监控模块，通过识别设备的单元的实时工作状态，并把不正常工作单元与正常工作流程分开，以防止由不正常工作单元造成的工作问题。本专利技术的另一目的是，通过单元状态监控模块，只单独关闭不正常工作单元，使其与其它正常工作单元分开，以提高工作效率。为实现上述目的和其它优点，半导体制造设备控制系统中配置设备单元的状态控制方法包括以下步骤接收来自设备的各单元的工作状态数据；检索与各单元对应的参考数据；确定各单元的工作状态数据是否处在与各单元对应的参考数据范围内；如果确定工作状态数据处在参考数据范围内，则返回到接收来自设备的各单元的工作状态数据；如果确定各单元中的一个单元的工作状态数据不处在参考数据范围内，则改变一个单元的变量ID(variableID)的关键值(key value)；把改变了关键值的变量ID加载到预定单元的控制消息上，并把其上加载了变量ID的单元控制消息下载到设备中，以改变一个单元的工作状态。单元控制消息最好是流函数消息。单元控制消息最好是S1F12。变量ID最好是ECID。把改变了关键值的变量ID加到预定的单元控制消息和把其上加载了变量ID的单元控制消息下载到设备中的步骤之后，半导体制造设备中单元的工作状态控制方法最好还包括以下步骤把预定的告警消息下载到设备中；确定是否有由设备发出的警报；如果确定设备没发出警报，则返回到把预定告警消息下载到设备中的步骤；如果确定设备发出了警报，则把预定的报警消息下载到设备中。告警消息和报警消息最好是流函数消息告警消息最好是S2F41。报警消息最好是S10F3或S10F5。因此，按本专利技术，实时识别半导体制造设备的工作状态，识别之后立即把不正常工作单元与其它正常工作单元分开。通过参见附图对优选实施例的详细说明，本专利技术的上述目的和其它优点将变得更清楚。图1是半导体制造设备的常规控制系统的原理图；图2是实施本专利技术的半导体制造设备的控制系统的原理图；图3是按本专利技术的半导体制造设备控制系统中配置设备的单元的工作状态控制方法的流程图；图4是按本专利技术的半导体制造设备控制系统中配置设备的单元的工作状态控制方法的第一实施例的流程图。以下将参见展示出本专利技术优选实施例的附图更充分地说明本专利技术。但是，本专利技术也能以许多不同的形式实施，本专利技术不受这里所述实施例的限制；提供这些实施例使对本专利技术的公开更充分和更完全，以便充分展示给本领域的技术人员。如图2所示，主计算机1包括单元状态监控模块20，用于接收关于设备3的单元的工作状态数据，它是由设备3经设备服务器(没画)加载的。当单元状态监控模块20插入主计算机1时，设备3也具备了适当的报告功能，因此能把设备3的各单元的工作状态实时报告给单元状态监控模块20。单元状态监控模块20连续监视存贮在主计算机1中的称作参考数据的各单元工作状态，以实时检查各单元是否正常工作。如果确定一些单元不正常工作，则立即关闭不正常工作单元，将其与其它正常工作单元分开。例如，在第一室4a中出现了错误，单元状态监控模块20就关闭第一室4a，使第一室4a与其它正常工作室，即与第二室4b和第三室4c分开。由于只关闭了第一室，其它室4b和4c仍然工作，设备中的加工连续进行，使生产力提高。如图3所示，首先，单元状态监控模块实时接收连续由设备3加载的设备3的各单元的工作状态数据，因此。单元状态监控模块20能立即识别设备3的各单元的工作状态。之后，单元状态监控模块20检索相应于存贮在主计算机1的数据库中的设备3的各单元参考数据(S20)。单元状态监控模块20比较收到的工作状态数据与检索的参考数据，并确定是否有任何一个单元产生的工作状态数据不处在相应于该单元的参考数据范围内(S30)。这时，如果确定各单元的工作状态数据处在相应于各单元的参考数据范围内，则没有单元会产生不在相应于该单元的参考数据范围内的工作状态数据，单元状态监控模块20返回到第一步骤S20，并连续接收工作状态数据。反之，如果确定各单元的某些工作状态数据不在参考数据范围内，任何单元产生了不在相应于该单元的参考数据范围内的工作状态数据时，则单元状态监控模块20把该确定结果传送到主计算机1。之后，主计算机1将产生工作状态数据超出参考数据范围的该单元变量ID的关键值改变为关闭状态(S40)。结果，不正常工作单元与其它正常工作单元分开。例如，假若第一室4a的工作时间量参考数据和收到的第一室的工作数据分别是10,000小时和10,001小时，则确定第一室4a的工作状态数据不在其参考数据范围内。之后，单元状态监控模块20确定第一室4a中发生一些问题，并将该确定报告主计算机。按该确定，主计算机1将第一室4a变量ID的关键值，改变为关闭状态，使第一室4a与其它正常工作室4b和4c立即分开。由主计算机1改变的变量ID最好是设备的恒定ID(ECID)它能全部一起改变室4的工作状态。步骤S40之后，单元状态监控模块20接收来自主计算机1的具有改变了关键值的变量ID，把该变量ID加载到一单元控制消息上，并把其上加载了变量ID的该单元控制消息下载到设备3中(S50)。因此，该设备能立即关闭不正常工作单元，即，第一室4a。这时，按本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体制造设备控制系统中配置设备单元的状态控制方法，其特征是，包括以下步骤： 接收来自所述设备的所述各单元的工作状态数据； 检索对应于所述各单元的参考数据； 确定所述各单元的所述工作状态数据是否处在对应于所述各单元的所述参考数据的范围内； 如果确定所述工作状态数据处在所述参考数据内，返回到接收工作状态数据的所述步骤，如果确定所述各单元中的一个单元的所述工作状态数据不处在所述参考数据范围内，改变所述一个单元的变量ＩＤ的关键值；和 把改变了关键值的所述变量ＩＤ加载到预定的单元控制消息上，并将其上加载了所述变量ＩＤ的所述单元控制消息下载到所述设备中，来改变所述设备的所述一个单元的工作状态。

【技术特征摘要】
KR 1998-1-14 802/981．一种半导体制造设备控制系统中配置设备单元的状态控制方法，其特征是，包括以下步骤接收来自所述设备的所述各单元的工作状态数据；检索对应于所述各单元的参考数据；确定所述各单元的所述工作状态数据是否处在对应于所述各单元的所述参考数据的范围内；如果确定所述工作状态数据处在所述参考数据内，返回到接收工作状态数据的所述步骤，如果确定所述各单元中的一个单元的所述工作状态数据不处在所述参考数据范围内，改变所述一个单元的变量ID的关键值；和把改变了关键值的所述变量ID加载到预定的单元控制消息上，并将其上加载了所述变量ID的所述单元控制消息下载到所述设备中，来改变所述设备的所述一个单元的工作状态。2．按照权利要求1的方法，其特征是，所述单元控制消息是流函...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵平日，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]