【技术实现步骤摘要】
一种半导体高度检测设备
[0001]本技术涉及半导体检测
,具体为一种半导体高度检测设备。
技术介绍
[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003]在传统的半导体零件检测大多用高度测量仪进行测量,主要为检测高度、深度、平面度等,现有的半导体高度检测设备检测效率较为低下,从而降低了检测时的精准度和检测速度,导致测量失准。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处,提供一种半导体高度检测设备,以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体高度检测设备,包括底台,所述底台顶部的一侧固定连接有调节杆,所述调节杆的内腔设置有移动机构,所述调节杆的外侧设置有检测探头,所述底台的顶部固定连接有限位杆,所述限位杆的外侧套设有套筒,所述套筒的顶部固定连接有检测台,所述检测台的底部固定连接有安装块 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体高度检测设备,包括底台(1),其特征在于:所述底台(1)顶部的一侧固定连接有调节杆(2),所述调节杆(2)的内腔设置有移动机构,所述调节杆(2)的外侧设置有检测探头(3),所述底台(1)的顶部固定连接有限位杆(4),所述限位杆(4)的外侧套设有套筒(5),所述套筒(5)的顶部固定连接有检测台(6),所述检测台(6)的底部固定连接有安装块(7),所述安装块(7)的内腔设置有卡合机构,所述底台(1)的顶部开设有卡槽(8)。2.根据权利要求1所述的一种半导体高度检测设备,其特征在于:所述移动机构包括电机(9)、丝杆(10)和螺纹套(11),所述电机(9)与调节杆(2)内壁的底部固定连接,所述丝杆(10)的底部与电机(9)的输出端固定连接,所述丝杆(10)的顶部通过轴承与调节杆(2)内壁的顶部转动连接,所述螺纹套(11)的内圈与丝杆(10)的外侧螺纹连接,所述螺纹套(11)的一侧与检测探头(3)固定连接,所述检测探头(3)远离螺纹套(11)的一端贯穿调节杆(2)并延伸至调节杆(2)的外侧。3.根据权利要求1所述的一种半导体高度检测设备,其特征在于:所述卡合机构包括弹簧(12)和卡块(13),所述弹簧(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:翁晓升,
申请(专利权)人:南通捷晶半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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