【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种无铅锆钛酸钡(BZT)功能陶瓷薄膜的制备技术，更确切地说是关于用湿化学方法制备BZT功能陶瓷薄膜，属于功能陶瓷薄膜领域。本专利技术的目的是通过下述配制过程实施的1.首先将醋酸钡溶于冰醋酸，控制加热至70℃，搅拌30分钟，得到澄清的醋酸钡溶液。将丙醇锆和钛酸丁酯分别溶于乙二醇甲醚中，且在钛酸丁酯的乙二醇甲醚溶液中加入5％-15％的乙酰丙酮(或冰醋酸)以稳定溶液，搅拌10分钟。再按所需Zr/Ti比，将丙醇锆-乙二醇甲醚和钛酸乙酯-乙二醇甲醚溶液混合搅拌10分钟；最后钡、锆、钛三者比例克分子浓度比为Ba∶Zr∶Ti＝1∶X∶1-X，(0≤X≤1)，将锆钛混合液倒入冷却的醋酸钡溶液中，将得到的锆钛酸钡混合溶液加热至70℃，搅拌30分钟，使溶液水解，最后将配制好的溶液用慢速定性滤纸过滤，去除杂质，从而得到澄清的BZT前驱液。2.制备BZT薄膜。将上述浓度为0.2-0.3M前驱液甩胶成膜法制膜，选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片，甩胶速度控制在3000-4000转/分钟，时间30秒，然后放在350℃-450℃的热平板上预处理10分钟，经过多次成膜-预处理-再成膜，获得一定厚度的功能BZT膜，再经650℃-720℃在快速热退火炉中，氧气氛下退火10分钟，升温速率是100℃/秒，得到结晶完善，随机取向的BZT薄膜。本专利技术提供的制备无铅功能薄膜的方法比有以下优点不需精馏，不需另外加水控制醇盐水解，只需加少量稳定剂，整个过程只需1-2小时，前驱液存放周期长，稳定性好，存放180天后制膜，性能不变。制备的无铅BZT功能薄膜具有良好的介电、铁电和压电...
【技术保护点】
一种制备无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的制备技术，包括前驱液的配制，热处理过程及成膜工艺的选择，其特征在于：（１）前驱液是以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料，以乙二醇甲醚溶剂，乙酰丙酮或冰醋酸为稳定剂；按Ｂａ∶Ｚｒ∶Ｔｉ＝１∶Ｘ∶１－Ｘ，０≤Ｘ ≤１，配制成前驱液；前驱液浓度为０．２－０．３摩尔／升；（２）前驱液经过滤除去杂质，甩胶成膜法制备薄膜，选择Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ↓［２］／Ｓｉ为基片，甩胶速度控制在３０００－４０００转／分钟，时间３０秒，然后放在３５０℃－４５０℃的热平板 上预处理１０分钟，经过多次成膜－预处理－再成膜，获得一定厚度的ＢＺＴ薄膜，再经６５０－７５０℃在氧气氛下退火处理１０分钟，升温速率为１００℃／秒，得到结晶完善，随机取向或择优取向的功能ＢＺＴ薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种制备无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的制备技术，包括前驱液的配制，热处理过程及成膜工艺的选择，其特征在于(1)前驱液是以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料，以乙二醇甲醚溶剂，乙酰丙酮或冰醋酸为稳定剂；按Ba∶Zr∶Ti＝1∶X∶1-X，0≤X≤1，配制成前驱液；前驱液浓度为0.2-0.3摩尔/升；(2)前驱液经过滤除去杂质，甩胶成膜法制备薄膜，选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片，甩胶速度控制在3000-4000转/分钟，时间30秒，然后放在350℃-450℃的热平板上预处理10分钟，经过多次成膜-预处理-再成膜，获得一定厚度的BZT薄膜，再经650-750℃在氧气氛下退火处理10分钟，升温速率为100℃/秒，得到结晶完善，随机取向或择优取向的功能BZT薄膜。2.按权利要求书1所述的制...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐新桂，丁爱丽，叶扬，李国荣，殷庆瑞，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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