本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体，所述水平调节装置主体上设置有控制面板，所述水平调节装置主体顶端外壁设置有监控组件，所述监控组件包括开设在水平调节装置主体顶端的透明板、开设在透明板上方两侧外壁上的滑槽、与滑槽滑动连接的滑块、与滑块固定连接的覆盖板、固定在覆盖板外壁上的第一把手和开设在水平调节装置主体外壁上的开槽，所述控制面板上方的水平调节装置主体外壁上设置有防护组件；通过设置的监控组件，其中监控组件包括滑槽、滑块、覆盖板、第一把手、开槽和透明板，工作人员可以通过透明板对内部的电子元件进行观察，方便及时对症维修，若是小问题可现场拆卸更换。换。换。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置
[0001]本技术涉及水平调节
，特别是涉及一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置。
技术介绍
[0002]等离子刻蚀机是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，等离子蚀刻机会用到水平自动调节装置。
[0003]但是现有的等离子刻蚀机用水平自动调节装置仍存在一些弊端，传统的等离子刻蚀机用水平自动调节装置在使用时，内部元件损坏后工作无法得知内部的具体情况，无法做到对症维修，造成一些小问题还需要送到维修公司进行维修，造成浪费，费时费力，为此我们提出一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，通过设置的监控组件，其中监控组件包括滑槽、滑块、覆盖板、第一把手、开槽和透明板，工作人员可以通过透明板对内部的电子元件进行观察，方便及时对症维修，若是小问题可现场拆卸更换。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体，所述水平调节装置主体上设置有控制面板，所述水平调节装置主体顶端外壁设置有监控组件，所述监控组件包括开设在水平调节装置主体顶端的透明板、开设在透明板上方两侧外壁上的滑槽、与滑槽滑动连接的滑块、与滑块固定连接的覆盖板、固定在覆盖板外壁上的第一把手和开设在水平调节装置主体外壁上的开槽，所述控制面板上方的水平调节装置主体外壁上设置有防护组件。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述透明板设置为亚克力透明板，所述透明板设置在水平调节装置主体的内部元件正上方位置处。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述滑槽对称开设有两组，每组所述滑槽的长度皆设置等于透明板的长度大小。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述覆盖板的面积大小设置等于透明板的面积大小。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述防护组件包括固定在控制面板上方水平调节装置主体外壁上的两组固定板、固定在两组固定板之间的转轴、转动连接在转轴上的套板、连接在转轴和套板之间的复位弹簧、固定在套板上的防护板和固定在防护板外壁上的第二把手。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述复位弹簧的一端与转轴外壁连接，所
述复位弹簧的另一端与套板内壁连接。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述防护板内部设置有放置槽，所述防护板内部的放置槽空间大于控制面板上按键体积之和大小。
[0012]与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：
[0013]1.通过设置的监控组件，其中监控组件包括滑槽、滑块、覆盖板、第一把手、开槽和透明板，当工作人员需要对水平调节装置主体内损坏的电子元件进行观察时，只需握住第一把手向上推动，推动覆盖板通过滑块在滑槽内向上滑动，覆盖板的上端穿过开槽向上滑动，直到将透明板完全呈现出来，这时工作人员可以通过透明板对内部的电子元件进行观察，方便及时对症维修，若是小问题可现场拆卸更换。
[0014]2.通过设置的防护组件，其中防护组件包括固定板、转轴、套板、复位弹簧、防护板和第二把手，当工作人员需要使用控制面板时，只需握住第二把手向外转动防护板，防护板转动套板在转轴上转动，转动过程中挤压复位弹簧产生形变，然后对控制面板进行操作即可，当不需要使用时，只需缓缓松动抬起的第二把手，此时复位弹簧自身的弹性产生的复原力推动防护板将控制面板完全覆盖形成防护，通过该装置能够使得控制面板得到有效防护，有效防止控制面板得到损坏。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构立体示意图；
[0016]图2为本技术的结构正视示意图；
[0017]图3为本技术的局部结构俯视剖面示意图；
[0018]图4为本技术的图3中A处结构放大示意图；
[0019]图5为本技术的局部结构侧视剖面示意图；
[0020]其中：1、水平调节装置主体；2、控制面板；3、监控组件；31、滑槽；32、滑块；33、覆盖板；34、第一把手；35、开槽；36、透明板；4、防护组件；41、固定板；42、转轴；43、套板；44、复位弹簧；45、防护板；46、第二把手。
具体实施方式
[0021]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0022]实施例:
[0023]如图1
‑
图5所示，一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体1，水平调节装置主体1上设置有控制面板2，水平调节装置主体1顶端外壁设置有监控组件3，监控组件3包括开设在水平调节装置主体1顶端的透明板36、开设在透明板36上方两侧外壁上的滑槽31、与滑槽31滑动连接的滑块32、与滑块32固定连接的覆盖板33、固定在覆盖板33外壁上的第一把手34和开设在水平调节装置主体1外壁上的开槽35，控制面板2上方的水
平调节装置主体1外壁上设置有防护组件4。
[0024]当工作人员需要对水平调节装置主体1内损坏的电子元件进行观察时，只需握住第一把手34向上推动，覆盖板33的面积大小设置等于透明板36的面积大小，推动覆盖板33通过滑块32在滑槽31内向上滑动，滑槽31对称开设有两组，每组滑槽31的长度皆设置等于透明板36的长度大小，通过该设计，使得覆盖板33通过滑块32在滑槽31内滑动可以完全打开也可将透明板36完全覆盖，覆盖板33的上端穿过开槽35向上滑动，直到将透明板36完全呈现出来，透明板36设置为亚克力透明板，透明板36设置在水平调节装置主体1的内部元件正上方位置处，通过该设计，使得工作人员可以透过透明板36更好的观察到内部元件，及时对其进行维修处理，准确找到维修方法，这时工作人员可以通过透明板36对内部的电子元件进行观察，方便及时对症维修，若是小问题可现场拆卸更换。
[0025]防护组件4包括固定在控制面板2上方水平调节装置主体1外壁上的两组固定板41、固定在两组固定板41之间的转轴42、转动连接在转轴42上的套板43、连接在转轴42和套板43之间的复位弹簧44、固定在套板43上的防护板45和固定在防护板45外壁上的第二把手46。
[0026]当工作人员需要使用控制面板2时，只需握住第二把手46向外转动防护板45，防护板45转动套板43本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体(1)，其特征在于：所述水平调节装置主体(1)上设置有控制面板(2)，所述水平调节装置主体(1)顶端外壁设置有监控组件(3)，所述监控组件(3)包括开设在水平调节装置主体(1)顶端的透明板(36)、开设在透明板(36)上方两侧外壁上的滑槽(31)、与滑槽(31)滑动连接的滑块(32)、与滑块(32)固定连接的覆盖板(33)、固定在覆盖板(33)外壁上的第一把手(34)和开设在水平调节装置主体(1)外壁上的开槽(35)，所述控制面板(2)上方的水平调节装置主体(1)外壁上设置有防护组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，其特征在于：所述透明板(36)设置为亚克力透明板，所述透明板(36)设置在水平调节装置主体(1)的内部元件正上方位置处。3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，其特征在于：所述滑槽(31)对称开设有两组，每组所述滑槽(31)的长度皆设置等于透明板(36)的长度大...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉晶晶，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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