一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体，所述水平调节装置主体上设置有控制面板，所述水平调节装置主体顶端外壁设置有监控组件，所述监控组件包括开设在水平调节装置主体顶端的透明板、开设在透明板上方两侧外壁上的滑槽、与滑槽滑动连接的滑块、与滑块固定连接的覆盖板、固定在覆盖板外壁上的第一把手和开设在水平调节装置主体外壁上的开槽，所述控制面板上方的水平调节装置主体外壁上设置有防护组件；通过设置的监控组件，其中监控组件包括滑槽、滑块、覆盖板、第一把手、开槽和透明板，工作人员可以通过透明板对内部的电子元件进行观察，方便及时对症维修，若是小问题可现场拆卸更换。换。换。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置


[0001]本技术涉及水平调节
，特别是涉及一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，等离子蚀刻机会用到水平自动调节装置。
[0003]但是现有的等离子刻蚀机用水平自动调节装置仍存在一些弊端，传统的等离子刻蚀机用水平自动调节装置在使用时，内部元件损坏后工作无法得知内部的具体情况，无法做到对症维修，造成一些小问题还需要送到维修公司进行维修，造成浪费，费时费力，为此我们提出一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，通过设置的监控组件，其中监控组件包括滑槽、滑块、覆盖板、第一把手、开槽和透明板，工作人员可以通过透明板对内部的电子元件进行观察，方便及时对症本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，包括水平调节装置主体(1)，其特征在于：所述水平调节装置主体(1)上设置有控制面板(2)，所述水平调节装置主体(1)顶端外壁设置有监控组件(3)，所述监控组件(3)包括开设在水平调节装置主体(1)顶端的透明板(36)、开设在透明板(36)上方两侧外壁上的滑槽(31)、与滑槽(31)滑动连接的滑块(32)、与滑块(32)固定连接的覆盖板(33)、固定在覆盖板(33)外壁上的第一把手(34)和开设在水平调节装置主体(1)外壁上的开槽(35)，所述控制面板(2)上方的水平调节装置主体(1)外壁上设置有防护组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，其特征在于：所述透明板(36)设置为亚克力透明板，所述透明板(36)设置在水平调节装置主体(1)的内部元件正上方位置处。3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机用水平自动调节装置，其特征在于：所述滑槽(31)对称开设有两组，每组所述滑槽(31)的长度皆设置等于透明板(36)的长度大...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉晶晶，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：