固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统制造方法及图纸

本申请提供了一种固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统。所述固定装置包括：固定装置用于对电子显微镜的样品室的监测探头进行固定，其特征在于，固定装置包括：连接部，适于与样品室的外壁连接，且连接部的中部设置有观察窗，观察窗与连接部之间通过密封部真空密封；固定部，位于连接部的一侧，固定部用于将监测探头固定在与观察窗对应的位置，且固定部围绕监测探头设置，以阻挡样品室外的光线通过观察窗进入样品室。本申请通过设置连接部以及固定部，可以将监测探头固定在样品室外部，并且可以避免外界光线进入样品室内部，还可以使样品室具有良好的密闭性。品室具有良好的密闭性。品室具有良好的密闭性。

【技术实现步骤摘要】
固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统


[0001]本申请涉及电子显微镜领域，具体涉及一种固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统。

技术介绍

[0002]电子显微镜(Electron Microscope，EM)是一种重要的电子光学仪器，可应用于多个领域。使用电子显微镜的过程中，需要通过监测探头监测样品室内的情况。将监测探头设置于样品室内部存在诸多问题。例如，监测探头产生的热量会对样品的观察产生干扰，监测探头会占用样品室内部的空间，监测探头会吸附周围的空气，导致抽真空效率降低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供了一种固定装置、监测探头组件以及电子显微镜系统。该固定装置可以将监控探头固定在样品室外部。
[0004]第一方面，本申请提出了一种固定装置，所述固定装置用于对电子显微镜的样品室的监测探头进行固定，其特征在于，所述固定装置包括：连接部，适于与所述样品室的外壁连接，且所述连接部的中部设置有观察窗，所述观察窗与所述连接部之间通过密封部真空密封；固定部，位于所述连接部的一侧，所述固定部用于将所述监测探头固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定装置，所述固定装置用于对电子显微镜的样品室的监测探头进行固定，其特征在于，所述固定装置包括：连接部，适于与所述样品室的外壁连接，且所述连接部的中部设置有观察窗，所述观察窗与所述连接部之间通过密封部真空密封；固定部，位于所述连接部的一侧，所述固定部用于将所述监测探头固定在与所述观察窗对应的位置，且所述固定部围绕所述监测探头设置，以阻挡所述样品室外的光线通过所述观察窗进入所述样品室。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定部包括：定位部，所述定位部与所述连接部固定连接，所述定位部用于将所述监测探头定位在与所述观察窗对应的位置。3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述固定部还包括：夹持部，所述夹持部与所述定位部可拆卸连接，所述夹持部与所述定位部共同作用，夹持固定所述监测探头。4.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定部还包括：紧固部，位于所述固定部周向，所述紧固部用于将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：田贵宾，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：