一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架，包括刻蚀机本体，还包括：移动框，所述移动框设置于刻蚀机本体的下方，所述移动框的外表面设置有万向轮，所述移动框的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内表面滑动连接有滑杆，所述滑杆的顶部固定连接有支撑板；支撑装置，所述支撑装置设置于移动框的内部，所述支撑装置包括电机，所述电机的外表面与移动框的内部固定连接，所述电机的端部固定连接有第一伞齿轮，所述第一伞齿轮的外表面啮合连接第二伞齿轮，所述第二伞齿轮的顶部固定连接有转动管，所述转动管的内表面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内表面螺纹连接有螺杆，方便刻蚀机的移动与搬运。动与搬运。动与搬运。

【技术实现步骤摘要】
一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架


[0001]本技术涉及刻蚀机领域，特别是涉及一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
[0003]但是现有的刻蚀机仍然存在一些弊端，由于刻蚀机的体型较大，在对刻蚀机进行搬运时，需要将刻蚀机搬运到推车上面，从而完成搬运，耗时耗力，为此，我们提出了一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架，方便刻蚀机的移动与搬运。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种多腔室等离子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架，包括刻蚀机本体(1)，其特征在于：还包括：移动框(2)，所述移动框(2)设置于刻蚀机本体(1)的下方，所述移动框(2)的外表面设置有万向轮(3)，所述移动框(2)的顶部开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内表面滑动连接有滑杆(5)，所述滑杆(5)的顶部固定连接有支撑板(6)；支撑装置，所述支撑装置设置于移动框(2)的内部。2.根据权利要求1所述的一种多腔室等离子刻蚀机用可移动支架，其特征在于：所述支撑装置包括电机(7)，所述电机(7)的外表面与移动框(2)的内部固定连接，所述电机(7)的端部固定连接有第一伞齿轮(8)，所述第一伞齿轮(8)的外表面啮合连接第二伞齿轮(9)，所述第二伞齿轮(9)的顶部固定连接有转动管(10)，所述转动管(10)的内表面开设有螺纹孔(11)，所述螺纹孔(11)的内表面螺纹连接有螺杆(12)，所述螺杆(12)的底部开设有限位槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱燕，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：