一种蒸镀原料加热设备测试炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括：支架；炉体，固定设置于支架上，其底部敞开，炉体的底端外周上固定设置有安装法兰盘；承接法兰盘，通过第一螺栓与安装法兰盘固定连接；抽真空泵，通过高压管路与炉体的侧壁连通设置；控制柜，与抽真空泵相连接。本实用新型专利技术的测试炉可对各种尺寸规格的蒸发源进行性能测试，适用性高，有效降低了测试成本。有效降低了测试成本。有效降低了测试成本。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀原料加热设备测试炉


[0001]本技术涉及蒸镀设备的蒸发源检测
，尤其涉及一种蒸镀原料加热设备测试炉。

技术介绍

[0002]目前，蒸镀工艺被广泛应用于电子器件的镀膜生产过程中，其原理是将待成膜的原材料放置于真空环境中，将原材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的原材料凝结沉积在待成膜的基板表面而完成镀膜。用于加热原材料的蒸镀原料加热设备(即蒸发源)是蒸镀设备上最重要的部件之一，蒸发源通过设置在其底部的装配法兰盘安装在蒸镀设备上，其性能决定了蒸镀设备的性能。蒸发源装配前需进行密闭及温度性能测试，蒸发源根据加热材料的需求，设置有多种尺寸规格，现有的测试设备大都只能对一种规格的蒸发源进行性能测试，适用性不足。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可对各种尺寸规格的蒸发源进行性能测试，适用性高，有效降低了测试成本的蒸镀原料加热设备测试炉。
[0004]本技术提供的一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括支架、炉体、承接法兰盘、抽真空泵和控制柜；其中；
[0005]所述炉体，固定设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀原料加热设备测试炉，其特征在于，包括支架、炉体、承接法兰盘、抽真空泵和控制柜；其中；所述炉体，固定设置于所述支架上，其底部敞开，所述炉体的底端外周上固定设置有安装法兰盘；所述承接法兰盘，设置有多片，各片所述承接法兰盘的外径尺寸相同，各片所述承接法兰盘上分别设置有尺寸不同的法兰接口，所述承接法兰盘通过第一螺栓与所述安装法兰盘固定连接，所述法兰接口的底面沿周向均布有若干第二螺栓；所述抽真空泵，通过高压管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，刘书跃，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：新型
国别省市：