【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用金属MASK掩膜板
[0001]本技术涉及一种镀膜机用金属MASK掩膜板。
技术介绍
[0002]磁控溅射生产时，为确保产品的质量稳定，故把金属MASK掩膜板表面做了粗糙（粗糙约20μm）处理，装在真空腔体内，用来吸附生产时靶材溅射产生的脏污。
[0003]现有的镀膜机用金属MASK掩膜板是委外厂家进行熔射处理，其工艺条件为先对金属MASK掩膜板进行酸洗，然后再高温条件下（约1500℃）向工件表面喷射一种氧化物，氧化物瞬间遇冷凝固附着在工件表面上，在工件表面形成均匀且又高低不一的波峰波谷，从而使工件表面变粗糙，但因是委外厂家进行熔射的，过程记载片面。
[0004]然而这种方法存在以下弊端：金属MASK掩膜板表面熔射物（附着的氧化物）在连续高温中（磁控成膜，靶材溅射过程中放电时会放热）因附着力变差会脱落，导致产品质量不稳定。部分产品降级。另外，每次对金属MASK掩膜板熔射，使用成本也较高。
技术实现思路
[0005]本技术需要解决的技术问题是提供一种镀膜机用金属MASK掩膜板。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用金属MASK掩膜板，其特征在于：包括金属MASK掩膜板本体，所述金属MASK掩膜板本体表面具有由喷砂制成的粗糙层，所述粗糙层的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝波，周峰，于佩强，胡业新，
申请(专利权)人：江苏日久光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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