掩膜版组、蒸镀装置和发光器件功能层厚度的监控方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种掩膜版组、蒸镀装置和发光器件功能层厚度的监控方法，发光器件：包括第1至第N功能层，掩膜版组包括：第1至第N掩膜版；第i掩膜版包括第i透光部和第i遮光部，第i透光部包括：第i功能层开口和第i功能层监控开口，第i功能层开口用于蒸镀形成第i功能层，第i功能层监控开口用于蒸镀形成第i功能层监控区域，第i功能层监控区域用于监控第i功能层的蒸镀厚度，1≤i≤N；掩膜版组中任意两个掩膜版的功能层开口在待掩膜平面上的垂直投影至少部分交叠，且任意两个掩膜版的功能层监控开口在待掩膜平面上的垂直投影至多部分交叠。采用上述掩膜版组，可实现对不同工位的膜厚校准和排查，耗时时间短且工作效率高。耗时时间短且工作效率高。耗时时间短且工作效率高。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版组、蒸镀装置和发光器件功能层厚度的监控方法


[0001]本专利技术实施例涉及蒸镀
，尤其涉及一种掩膜版组、蒸镀装置和发光器件功能层厚度的监控方法。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，简称OLED)采用有机发光材料，在通电下，器件自发光，具备低功耗、色域广、亮度高、高响应等一系列优点，因此逐渐成为主流的照明和平板显示技术，国内外各大厂商也均在OLED行业进行大力布局，进一步推动了OLED行业的发展。
[0003]在OLED器件制备的技术环节中，通常是通过掩膜版贴合玻璃基板，然后通过蒸镀的方式获得器件的图案化。在蒸镀过程中，蒸镀膜厚和主客体掺杂浓度的变化对于OLED器件性能存在较大影响，因此在OLED面板大厂中，正常情况下会在跑片前对于不同工位的膜厚做校准，一般每个班一次，耗时较久。此外，不仅仅是日常监控蒸镀膜层厚度耗时，在遇到相关器件异常的情况下(例如光色偏移、光色不均匀、显示异常、性能异常等)，对于蒸镀段膜厚校准排查也是十分耗时，通常需要对全部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发光器件的掩膜版组，其特征在于，所述发光器件包括：第1至第N功能层，所述掩膜版组包括：第1至第N掩膜版；第i掩膜版包括第i透光部和第i遮光部，所述第i透光部包括：多个第i功能层开口和至少一个第i功能层监控开口，所述第i功能层开口用于蒸镀形成所述发光器件的第i功能层，所述第i功能层监控开口用于蒸镀形成第i功能层监控区域，所述第i功能层监控区域用于监控第i功能层的蒸镀厚度，其中，1≤i≤N；所述掩膜版组中任意两个掩膜版的功能层开口在待掩膜平面上的垂直投影至少部分交叠，且所述掩膜版组中任意两个掩膜版的功能层监控开口在待掩膜平面上的垂直投影至多部分交叠。2.根据权利要求1所述的发光器件的掩膜版组，其特征在于，所述发光器件的功能层包括：金属层和多个有机功能层；所述掩膜版组中第j掩膜版用于蒸镀形成所述金属层，所述掩膜版组中第k掩膜版用于蒸镀形成所述有机功能层，其中，1≤j≤N，1≤k≤N，i≠j；所述第j掩膜版包括第j透光部和第j遮光部，所述第j透光部包括：多个第j功能层开口和至少一个第j功能层监控开口；所述第k掩膜版包括第k透光部和第k遮光部，所述第k透光部包括：多个第k功能层开口和至少一个第k功能层监控开口；所述第j功能层开口与所述第k功能层开口在待掩膜平面上的垂直投影至少部分交叠；用于蒸镀形成有机功能层的掩膜版中，任意两个掩膜版的功能层开口在待掩膜平面上的垂直投影至少部分交叠。3.根据权利要求1所述的发光器件的掩膜版组，其特征在于，所述掩膜版组中任意一个掩膜版的功能层开口在待掩膜平面上的垂直投影与任意一个掩膜版的功能层监控开口在待掩膜平面上的垂直投影不交叠。4.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：第1至第M腔室以及权利要求1
‑
3任一项所述的掩膜版组，所述第i掩膜版位于第i腔室，所述第i腔室用于蒸镀形成所述第i功能层，其中，M≥N，1≤i...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈汐，王江南，徐林帅，张川，李文重，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：