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本发明实施例公开了一种掩膜版组、蒸镀装置和发光器件功能层厚度的监控方法，发光器件：包括第1至第N功能层，掩膜版组包括：第1至第N掩膜版；第i掩膜版包括第i透光部和第i遮光部，第i透光部包括：第i功能层开口和第i功能层监控开口，第i功能层开口...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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