【技术实现步骤摘要】
本技术属于膜材,具体关于一种水汽阻隔膜。
技术介绍
1、水汽阻隔膜作为一种重要的功能性材料,在多个领域发挥着不可替代的作用。随着科技的进步和市场需求的变化,水汽阻隔膜的应用范围不断扩大,其重要性也日益凸显。水汽阻隔膜是通过磁控溅射法、气相沉积法等工艺将无机氧化物沉积在基材上所形成的一层阻隔膜。这种膜具有良好的阻断水、氧气对电子元器件材料的侵蚀能力,能够维持产品的使用寿命和性能。水汽阻隔膜主要应用在柔性oled屏幕、柔性光伏电池、柔性oled照明等领域,通过在柔性基板表面形成阻隔膜来隔断产品内部元器件与外界水汽接触,达到阻隔效果。
2、中国专利cn106903954a和cn116284938a公开了一种在聚合物基底上采用原子层沉积或物理气相沉积法制备al2o3、sio2和si3n4等作为阻隔层来实现水汽阻隔功能的水汽阻隔膜。此类水汽阻隔膜在应用中特别是光伏领域,由于户外环境影响,长时间使用后,薄膜阻水性能会大幅下降,进而影响产品的正常使用。
3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解,而不应 ...
【技术保护点】
1.一种水汽阻隔膜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属保护层选自Ni层、Cr层和NiCr层中的一种。
3.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属保护层的厚度介于0.5nm-3nm。
4.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属氧化物封盖层选自Nb2O5层。
5.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属氧化物封盖层的厚度介于3nm-10nm。
6.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述阻隔层选自SiO2层、SiO层、Si3
...【技术特征摘要】
1.一种水汽阻隔膜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属保护层选自ni层、cr层和nicr层中的一种。
3.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属保护层的厚度介于0.5nm-3nm。
4.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属氧化物封盖层选自nb2o5层。
5.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述金属氧化物封盖层的厚度介于3nm-10nm。
6.根据权利要求1所述的水汽阻隔膜,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李孝明,于佩强,汪金铭,黄芪,袁明,
申请(专利权)人:江苏日久光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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