液状物的喷出方法和装置、电光装置及其基板的制造方法制造方法及图纸

一种液状物的喷出方法，其中，在基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物，其特征在于： 将上述基板的涂敷区域至少分割为２个区域， 使对于该已分割的某１个区域的液状物的喷出量比对于已分割的其它的区域的液状物的喷出量多。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液状物的喷出方法和液状物的喷出装置，更详细地说，涉及在可得到均匀的厚度的涂膜的同时液状物的使用效率良好的液状物的喷出方法和液状物的喷出装置。此外，本专利技术涉及使用了上述的液状物的喷出方法的电光装置用基板的制造方法和电光装置的制造方法。
技术介绍
迄今为止，对于半导体基板、液晶显示装置或滤色器用基板等，作为形成膜厚较薄的涂膜的技术，已知有自旋涂敷法、印模涂敷法、滚筒涂敷法等的涂敷方法。这些涂敷方法中，在形成薄到微米数量级的、均匀的涂膜的情况下，一般认为自旋涂敷法最为适当。在该自旋涂敷法中，将被形成涂膜的被涂敷基板(以下称为「基板」)保持在卡盘上，在该基板的中央部滴下应涂敷的液状物、例如抗蚀剂材料。然后，使该基板高速地旋转，利用所发生的离心力使液状物从基板中央部朝向外周部扩散以形成涂膜。该自旋涂敷法与其它的涂敷方法相比，适合于形成膜厚的分布少的、均匀的涂膜。但是，由于已滴下的液状物的约90％以上从基板表面扩散到其周围而使之平整化，故液状物被白白地消耗，存在在环境和经济方面不利的问题。因此，如图26中所示，在特开平8-250389号公报中公开了以可抑制液状物的白白的消耗且即使在基板上有翘曲或凹凸也能形成均匀的膜厚的涂膜为目的的薄膜形成装置和薄膜形成方法。更具体地说，公开了以在恒定的方向上排列并设置间歇地喷出恒定量的液状物的喷墨方式的多个喷嘴、同时在与排列方向正交的方向上使这些喷嘴以直线方式相对地移动从而在基板上涂敷液状物为特征的薄膜形成装置和薄膜形成方法。此外，如图27中所示，在特开平8-314148号公报中公开了树脂涂膜的制作方法。更具体地说，公开了以缩小膜厚不均匀的部分(即波纹)、扩大有用面积为目的、下述工艺为特征的树脂涂膜的制作方法利用喷墨方式的喷嘴在基板上设置了树脂涂膜后，在利用第1加热装置对树脂涂膜加热并使之干燥的工序中，利用与第1加热装置分开地设置的第2加热装置局部地控制外缘部分的温度。此外，如图28中所示，在特开平9-10657号公报中公开了以形成涂敷液的浪费少的、规定的膜厚的薄膜为目的的薄膜形成装置。更具体地说，公开了具有下述的部分的薄膜形成装置(1)具有多个对基板喷出涂敷液的微细喷嘴的喷墨头；(2)使基板旋转的旋转装置；(3)在旋转轴的附近区域与分离区域之间使喷墨头相对移动的相对移动装置；以及(4)从旋转轴的附近区域朝向分离区域控制成减小相对移动装置的相对移动速度或减小角速度用的相对移动控制装置。此外，如图29中所示，在特开2001-174819号公报中公开了以降低材料成本、形成在膜厚的均匀性方面良好的涂膜为目的的涂敷膜形成方法和成膜装置。更具体地说，公开了具备下述的工序的涂敷膜形成方法和成膜装置(1)利用喷墨喷嘴对在处理室内水平地配置的基板的膜形成区域供给液滴状或雾状的膜材料的工序；以及(2)通过使被供给了膜材料的基板旋转、在基板上使膜材料扩散以形成涂敷膜的工序。再者，如图30中所示，在特开2000-288455号公报中公开了以高效地形成由密度不同的多种抗蚀剂材料构成的第1抗蚀剂薄膜和第2抗蚀剂薄膜为目的的抗蚀剂涂敷装置。更具体地说，公开了具备下述的部分的抗蚀剂涂敷装置(1)存储形成第1抗蚀剂薄膜的第1区域和形成第2抗蚀剂薄膜的第2区域的位置用的数据存储部；(2)在第1区域中形成第1抗蚀剂薄膜用的第1抗蚀剂涂敷部；(3)在第2区域中形成第2抗蚀剂薄膜用的第2抗蚀剂涂敷部；以及(4)控制成分开涂敷密度不同的多种抗蚀剂材料用的抗蚀剂涂敷控制部。但是，在特开平8-250389号公报中公开的由液状物构成的薄膜的形成装置和形成方法中，由于使喷墨方式的喷嘴在恒定的方向上以直线的方式相对移动，故虽然适合于基板的形状为角型的、其大小被确定了的情况，但在对形状为圆形的基板或大小不同的基板进行涂敷的情况下，存在对于液状物来说产生浪费的可能性。此外，根据情况，有时在基板上配置柱状衬垫，但此时柱状衬垫成为障碍，液状物的扩散是不充分的，可看到形成具有均匀的厚度的薄膜变得越来越困难的事态。此外，在特开平8-314148号公报中公开的树脂涂膜的制作方法中，在对树脂涂膜加热并使之干燥的工序中，由于必须设置第2加热装置以局部地控制外缘部分的温度，故存在制造装置的规模变大、制造成本提高、制造时间变长的问题。此外，在设置第2加热装置以局部地控制外缘部分的温度的方法中，岂但涂敷液的使用效率低，而且难以形成包含基板的旋转中心附近的膜厚分布在内具有均匀的厚度的薄膜。此外，在特开平9-10657号公报中公开的薄膜形成装置中，虽然一边控制角速度或移动速度一边进行涂敷，但难以进行精细的控制。另一方面，由于其基本的意图是从喷墨头喷出恒定量的涂敷液，故必须在基板的外周部减小喷墨头的移动速度或角速度，这样就存在在印字方面需要长时间的问题。此外，在涂敷液的粘度或固态部分随环境条件变化的情况下，难以从喷墨头喷出恒定量的涂敷液，作为其结果是，在提高了涂敷液的使用效率的状态下，难以形成具有均匀的厚度的薄膜。此外，在特开2001-174819号公报中公开的涂敷膜形成方法中，由于对基板的整个面一次供给液滴状或雾状的膜材料，故在能常时地从喷墨头喷出恒定量的涂敷液的情况下，在形成均匀的厚度的薄膜方面是有利的。但是，在涂敷液的粘度或固态部分随环境条件变化的情况下，可看到基板的旋转中心附近的膜厚容易变厚的问题。再者，对于在特开2000-288455号公报中公开的抗蚀剂涂敷装置来说，在短时间内形成密度等不同的多种抗蚀剂方面也是有效的涂敷装置，但可看到基板的旋转中心附近的膜厚容易变厚的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决以上那样的问题而完成的，其目的在于，通过适当地改变涂敷在基板上的液状物的喷出量，提供可得到在整个基板上膜厚分布小的、具有均匀的厚度的涂膜、同时减少了被涂敷的液状物的浪费且提高了使用效率的液状物的喷出方法和液状物的喷出装置。而且，为了达到该目的，本专利技术具有以下说明的的特征。本专利技术的液状物的喷出方法是在基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物的液状物的喷出方法，其特征在于将上述基板的涂敷区域至少分割为2个区域，使对于该已分割的某1个区域的液状物的喷出量比对于已分割的其它的区域的液状物的喷出量多。即，通过与涂敷液状物的基板的位置对应地改变来自液滴喷头的液状物的喷出量，可得到在整个基板上膜厚分布小的、具有均匀的厚度的涂膜。此外，通过在从液滴喷头的喷嘴喷出液状物的同时改变来自液滴喷头的液状物的喷出量，可减少被涂敷的液状物的浪费且提高液状物的使用效率。此外，在实施本专利技术的液状物的喷出方法时，最好准备多个液滴喷头作为液滴喷头，同时对于涂敷液状物的各区域，最好分别使用不同的液滴喷头来涂敷液状物。如果这样做，则可在整个基板上进一步减小膜厚分布，同时可减少被涂敷的液状物的浪费且提高液状物的使用效率。此外，在实施本专利技术的液状物的喷出方法时，最好使对于基板的液状物的喷出量分阶段地或连续地变化。如果这样做，则可根据基板的大小或表面状态精细地控制液状物的喷出量，故可在整个基板上进一步减小膜厚分布，同时可减少被涂敷的液状物的浪费且提高液状物的使用效率。此外，在实施本专利技术的液状物的喷出方法时，最好使液状物的喷出量与离基板的特定位置的距离成比例地变化。如果这样做本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液状物的喷出方法，其中，在基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物，其特征在于将上述基板的涂敷区域至少分割为2个区域，使对于该已分割的某1个区域的液状物的喷出量比对于已分割的其它的区域的液状物的喷出量多。2.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于使对于上述基板的液状物的喷出量分阶段地或连续地变化。3.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于使上述液状物的喷出量与离上述基板的特定位置的距离成比例地变化。4.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于准备多个液滴喷头作为上述液滴喷头，对于涂敷上述液状物的各区域，分别使用不同的液滴喷头来涂敷液状物。5.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于一边使上述液滴喷头移动、一边涂敷上述液状物。6.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于根据上述液滴喷头与上述基板之间的距离和上述基板的移动速度来控制上述液滴喷头的喷出工作。7.如权利要求1中所述的液状物的喷出方法，其特征在于上述液滴喷头具有多个喷嘴。8.如权利要求7中所述的液状物的喷出方法，其特征在于根据离上述基板的特定位置的距离来改变上述喷嘴列的排列方向对于上述基板的基准方向的倾斜角度。9.一种液状物的喷出方法，其中，在非圆形的基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物，其特征在于除了从上述液滴喷头的喷嘴喷出液状物的喷出时间外，还设置不喷出液状物的非喷出时间。10.如权利要求9中所述的液状物的喷出方法，其特征在于使上述非喷出时间与在上述液滴喷头的喷嘴的喷出位置上不存在上述基板的时间同步。11.如权利要求1或9中所述的液状物的喷出方法，其特征在于设置在从上述液滴喷头的喷嘴喷出液状物并在上述基板上涂敷了该液状物后使该液状物在恒定方向或圆周方向上扩散的工序以使已涂敷的液状物扩散。12.一种液状物的喷出装置，该装置喷出涂敷在基板上的液状物，其特征在于，具有液滴喷头，至少具有1个喷嘴；以及喷出量控制装置，控制来自上述喷嘴的液状物的喷出量，以便在将上述基板中的涂敷液状物的区域至少分割为2个区域的情况下，使对于已分割的某1个区域的液状物的喷出量比对于已分割的其它的区域的喷出量多。13.如权利要求12中所述的液状物的喷出装置，其特征在于有多个上述喷嘴，这些喷嘴并排成列状以构成喷嘴列，喷嘴列的排列方向对于上述基板的基准方向的倾斜角度随离上述基板的特定位置的距离而变化。14.一种液状物的喷出方法，其中，在利用旋转涂敷器而使之旋转的的基板或已旋转的基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物，其特征在于沿从该基板的旋转中心算起位于规定距离的圆周，将上述基板中的涂敷区域分割为内侧区域和外侧区域的至少2个区域，使对于该外侧区域的液状物的喷出量比对于上述内侧区域的液状物的喷出量多。15.如权利要求14中所述的液状物的喷出方法，其特征在于使对于上述基板的液状物的喷出量从上述基板的旋转中心起朝向外侧分阶段地或连续地变化。16.如权利要求14中所述的液状物的喷出方法，其特征在于使上述液状物的喷出量与离上述基板的旋转中心的距离成比例地变化。17.如权利要求14中所述的液状物的喷出方法，其特征在于准备多个液滴喷头作为上述液滴喷头，对于上述内侧区域和上述外侧区域，分别使用不同的液滴喷头来涂敷液状物。18.如权利要求14中所述的液状物的喷出方法，其特征在于一边使上述液滴喷头移动、一边涂敷上述液...

【专利技术属性】
技术研发人员：川濑智己，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：