一种硅烷卸载系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种硅烷卸载系统，包括硅烷加压装置、硅烷储罐以及与所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器；其中，外购硅烷槽车通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置进行处理，处理后的硅烷气输送至硅烷储罐储存；待下游调试或生成时，通过所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器对硅烷气分别进行冷凝和升压，直至外购硅烷槽车内气压与所述硅烷储罐内的气压一致或所述硅烷储罐液位保持不变，完成硅烷卸载。该实施方式能够解决现有没有专门应用于硅烷卸载处理的问题。载处理的问题。载处理的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷卸载系统


[0001]本技术涉及硅烷卸载
，尤其涉及一种硅烷卸载系统。

技术介绍

[0002]在实现本技术过程中，发现现有的对外购槽车储存的硅烷气，通过管道转移储存至用户的硅烷气储罐系统，但目前尚无专门用于硅烷卸载的系统。其中，硅烷卸载是指对外购槽车储存的硅烷气，通过管道转移储存至用户的硅烷气储罐系统，用于系统开车调试或生产。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例提供一种硅烷卸载系统，能够解决现有没有专门应用于硅烷卸载处理的问题。
[0004]为实现上述目的，根据本技术实施例提供了一种硅烷卸载系统，包括硅烷加压装置、硅烷储罐以及与所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器；其中，外购硅烷槽车通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置进行处理，处理后的硅烷气输送至硅烷储罐储存；待下游调试或生成时，通过所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器对硅烷气分别进行冷凝和升压，直至外购硅烷槽车内气压与所述硅烷储罐内的气压一致或所述硅烷储罐液位保持不变，完成硅烷卸载。
[0005]可选地，包括淋洗储罐；其中，硅烷卸载后，对管线内的残余硅烷气输送至淋洗储罐，经淋洗储罐强碱液中和处理后排放至大气。
[0006]可选地，包括在淋洗储罐上游设置有流量控制阀。
[0007]可选地，包括所述硅烷加压装置设置为增压机、盘管加热器或换热器。
[0008]可选地，还包括所述硅烷加压装置设置为两程盘管加热器，管程为卸载的硅烷气，壳程为热源导热油，且导热油辅以氮气鼓泡。
[0009]可选地，包括所述硅烷加压装置设置有旁路管线，可通过开关阀进行硅烷加压装置或旁路管线的输送选择。
[0010]可选地，包括所述硅烷储罐的上游设置有温度控制阀和卸载温度指标，用于调节卸载流量。
[0011]可选地，包括与管线相连的安全泄放装置。
[0012]可选地，包括所述硅烷储罐配套的冷凝器采用甲醇水系统或液氮深冷系统。
[0013]可选地，包括所述外购硅烷槽车停放在硅烷车间，并通过氮气、硅烷气的吹扫置换后，通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置。
[0014]上述技术中的一个实施例具有如下优点或有益效果：本技术可对外购硅烷气进行卸载储存，通过卸载加热器、储罐的甲醇水系统控制送料的温度和压力，适用于硅烷充装系统或多晶硅生产系统开车调试的技术手段，
…
，实现了客户可无需上游系统完备再进行下游调试和生产，可大大缩短项目建成投用周期。同时系统中采用了一些列的温度、
液位、流量、压力控制系统，确保了硅烷安全，无污染的卸载储存。
[0015]上述的非惯用的可选方式所具有的进一步效果将在下文中结合具体实施方式加以说明。
附图说明
[0016]附图用于更好地理解本技术，不构成对本技术的不当限定。其中：
[0017]图1是根据本技术实施例的硅烷卸载系统的结构示意图。
具体实施方式
[0018]以下结合附图对本技术的示范性实施例做出说明，其中包括本技术实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本技术的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
[0019]本技术的至少一个实施例提供了一种硅烷卸载系统，所述硅烷卸载系统包括硅烷加压装置、硅烷储罐以及与所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器。
[0020]在实施例中，首先，外购硅烷槽车通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置进行处理，处理后的硅烷气输送至硅烷储罐储存。其中，硅烷加压装置对外购硅烷气进行加压输送，用于系统开车调试或生产，可大大缩短项目建设投产周期，加快卸载的效率。较佳的，根据实际需要硅烷加压装置可以设置为增压机、盘管加热器或换热器。进一步地，如果硅烷加压装置设置为盘管加热器则可以为两程盘管加热器，管程为卸载的硅烷气，壳程为热源导热油，且导热油辅以氮气鼓泡防止局部过热。如果硅烷加压装置设置为换热器，则可以采用蒸汽或其他热源加热。
[0021]然后，待下游调试或生成时，通过所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器对硅烷气分别进行冷凝和升压，直至外购硅烷槽车内气压与所述硅烷储罐内的气压一致或所述硅烷储罐液位保持不变，完成硅烷卸载。其中，硅烷储罐配套的蒸发器可以用于通过温度控制，对储罐的硅烷气进行升压达到所需压力。硅烷储罐配套的冷凝器可以用于控制硅烷储罐压力，使得硅烷气在此处冷凝储存。较佳的，所述硅烷储罐配套的冷凝器采用甲醇水系统或液氮深冷系统，来对外购气进行进一步的提纯。
[0022]另外，需要说明的是所述硅烷储罐的上游可以设置有温度控制阀和卸载温度指标，用于调节卸载流量，来避免卸载流量过大导致管线结冰或出现泄露。
[0023]作为一些实施例，本技术所述的硅烷卸载系统还可以包括淋洗储罐，具体地在硅烷卸载后对管线内的残余硅烷气输送至淋洗储罐，经淋洗储罐强碱液中和处理后排放至大气，从而确保了安全、无污染的硅烷卸载过程。较佳的，可以在淋洗储罐的上游设置有流量控制阀，用于对排放流量进行控制，从而确保不会导致淋洗塔超压。
[0024]值得说明的是，淋洗储罐可以采用淋洗塔。
[0025]还有优选地实施，所述外购硅烷槽车停放在硅烷车间，并通过一系列氮气、硅烷气的吹扫置换后，通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置。
[0026]作为另一些实施例，本技术所述的硅烷卸载系统为了避免卸载过程或结束后管线超压，还可以包括与管线相连的安全泄放装置。进一步地，设置与管线相连的安全泄放
装置以及相应的安全阀，打开安全阀没通过安全泄放装置可以将管线中的硅烷气进行紧急泄放，从而避免卸载过程中因管道憋压导致泄露。较佳的，安全泄放装置可以采用放空火炬或硅烷烟囱。
[0027]值得说明的是，所述硅烷加压装置设置有旁路管线，可通过开关阀进行硅烷加压装置或旁路管线的输送选择，即通过开关阀可以将硅烷气输送至硅烷加压装置或旁路管线，从而可以在硅烷加压装置检测维修期间也能够正常的执行硅烷卸载。
[0028]本技术的再一些实施例提供了一种硅烷卸载系统，如图1所示，所述的硅烷卸载系统包括外购硅烷槽车1、盘管加热器2、氮气供给3、温度控制阀4、卸载温度指示5、硅烷储罐6、蒸发器7、甲醇水系统8、流量控制阀9、淋洗塔10、硅烷烟囱11、排凝管线12、排放大气13、排放大气14以及储罐液位指示15。
[0029]在实施例中，外购硅烷槽车1停放在硅烷车间，并通过一系列氮气、硅烷气的吹扫置换后，通过管线将硅烷气输送至盘管加热器2。其中，盘管加热器2的热源为导热油，且辅以氮气供给3进行鼓泡防止局部过热。
[0030]经盘管加热器2加热的硅烷气，通过温度控制阀4和卸载温度指示5的温度控制回路，来调节卸载的流量，以避免卸载流量过大导致管线结冰或出现泄露。之后，硅烷储罐6对卸载的硅烷气进行接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷卸载系统，其特征在于，包括硅烷加压装置、硅烷储罐以及与所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器；其中，外购硅烷槽车通过管线与硅烷加压装置连通，硅烷加压装置与硅烷储罐储存连通；所述硅烷储罐配套安装有冷凝器和蒸发器。2.根据权利要求1所述的硅烷卸载系统，其特征在于，包括与管线连通的淋洗储罐。3.根据权利要求2所述的硅烷卸载系统，其特征在于，包括在淋洗储罐上游设置有流量控制阀。4.根据权利要求1所述的硅烷卸载系统，其特征在于，包括：所述硅烷加压装置设置为增压机、盘管加热器或换热器。5.根据权利要求4所述的硅烷卸载系统，其特征在于，还包括：所述硅烷加...

【专利技术属性】
技术研发人员：常璟春，徐岩，陈晓冬，尚明达，刘思远，兰天鹏，李梦东，
申请(专利权)人：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：