用于使光纤与光波导自对准的装置和方法制造方法及图纸

一种用于使光纤与光波导自对准的装置，包括：　　　　一个光波导芯片，所述光波导芯片包括：　　　　一个或多个在第一基板上形成的光波导，每个光波导都具有一个伸出部分；以及　　　　一个或多个在所述第一基板上形成的对准轨道，每个对准轨道与每个光波导都间隔开一个预定的距离；以及　　　　一个对准夹具，所述对准夹具包括：　　　　一个或多个在第二基板中形成的凹槽，每个凹槽适合于容纳一个伸出部分，并且每个凹槽都支承一个与一个光波导对准的光纤；以及　　　　一个或多个在所述第二基板中形成的对准槽，每个对准槽与上述凹槽间隔开所述预定的距离，并适合于与所述对准轨道相配合。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将光纤耦合到光波导的领域；更具体地说，本专利技术涉及用于制造与光波导组件自对准的光纤的装置和方法。
技术介绍
在光通信和光电子学中有许多应用，此处光纤必须连接到光波导上。光纤与光波导的连接要求光纤的一个端面与一个光波导的端面对准，然后将两个端面接合在一起。光纤与光波导的对准允差在五个自由度(相互垂直的X，Y和Z轴及绕X和Y轴的旋转轴)中必须保持低于1微米。完成这种五重对准的设备价格昂贵，并要求实施对准的人员高度熟练。五重对准也是很耗时间的。这二者都加到成品制品的成本上。另外，用这种技术极难或不可能将多个光纤以很接近的间距附接到一个光波导上。利用一种廉价的光纤与光波导对准的方法会大大降低光通信和光电子器件的制造成本。因此需要有一种在上述五个自由度中使一个或多个光纤与一个光波导对准的廉价方法。
技术实现思路
本专利技术的第一方面是一种用于使光纤与光波导自对准的装置，所述装置包括光波导芯片，所述光波导芯片包括一个或多个在第一基板上形成的光波导，每个光波导都具有一个伸出部分；和一个或多个在上述第一基板上形成的对准轨道，每个对准轨道都与每个光波导向隔开一个预定的距离；及对准夹具，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于使光纤与光波导自对准的装置，包括一个光波导芯片，所述光波导芯片包括一个或多个在第一基板上形成的光波导，每个光波导都具有一个伸出部分；以及一个或多个在所述第一基板上形成的对准轨道，每个对准轨道与每个光波导都间隔开一个预定的距离；以及一个对准夹具，所述对准夹具包括一个或多个在第二基板中形成的凹槽，每个凹槽适合于容纳一个伸出部分，并且每个凹槽都支承一个与一个光波导对准的光纤；以及一个或多个在所述第二基板中形成的对准槽，每个对准槽与上述凹槽间隔开所述预定的距离，并适合于与所述对准轨道相配合。2.如权利要求1所述的装置，其中所述光波导在纵向方向上延伸，而所述对准轨道平行于所述光波导延伸；以及所述凹槽在纵向方向上延伸，而所述对准槽平行于所述凹槽延伸。3.如权利要求1所述的装置，其中所述各对准槽包括一个停止部分。4.如权利要求1所述的装置，其中所述第一基板包括选自硅、蓝宝石或石英的材料，并且其中所述第二基板包括(100)硅。5.如权利要求1所述的装置，其中每个光波导与每个光纤在“X”方向上的对准是通过使所述对准轨道与所述对准槽配合来控制的，并且其中每个光波导与每个光纤在“Y”方向上的对准是通过所述凹槽的深度来控制的。6.如权利要求1所述的装置，其中所述伸出部分包括所述光波导的一个芯部分和一个第二包围部分。7.一种用于使光纤与光波导自对准的装置，包括一个光波导芯片，所述光波导芯片包括一个或多个在第一基板上形成的光波导，每个光波导都包括一个包层，所述包层在所述第一基板和一个伸出部分的顶面上延伸，所述伸出部分包括一个芯部分和一个包层部分；和一个或多个在所述包层上形成的对准轨道，每个对准轨道基本上与所述芯部分共面，并与每个芯部分间隔开一个预定的距离；以及一个对准夹具，所述对准夹具包括一个或多个在第二基板顶部上厚层中的沟槽，及一个或多个在所述第二基板中形成的凹槽，每个凹槽都朝向一个沟槽；每个凹槽都适合于容纳一个伸出部分并支承一个与一个光波导对准的光纤；以及一个或多个在所述厚层中形成的对准槽，每个对准槽与所述凹槽间隔开所述预定的距离并适合于与所述对准轨道相配合。8.如权利要求7所述的装置，其中所述光波导在一纵向方向上延伸，并且所述对准轨道平行于所述光波导延伸；以及所述凹槽在一纵向方向上延伸并且所述对准槽平行于所述凹槽延伸。9.如权利要求7所述的装置，其中所述对准槽包括一个停止部分。10.如权利要求7所述的装置，其中所述第一基板包括选自硅，蓝宝石或石英的材料，并且所述第二基板包括(100)硅。11.如权利要求7所述的装置，其中每个光波导与每个光纤在“X”方向上的对准是...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·耶尔曼，D·V·霍拉克，关口章久，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：