一种微机电开关制造技术

一种带有可连续控制杆的微机电开关结构。通过在靠近杆投影处但在杆投影外增设的促动电极可连续控制杆。杆垂直投影到促动电极的平面上。通过将促动电极设置在杆的旁边而不是在杆的下面，促动电极可以连续控制杆从静止位置移动到完全促动状态。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电开关，更具体地，涉及一种微机电开关的结构。
技术介绍
微机电开关用在微波频率范围内的各种用途。微机电开关通常是一端或两端带有支撑件的杆。支撑件一般在衬底表面的上面延伸或是与衬底表面平齐，即，微机电开关一般设置在衬底表面的上面或是在衬底中。杆作为平行板电容器中一个极板。被称作促动电压的电压施加在杆和开关底座上作为电容器另一极板的促动电极之间。在开关闭合阶段，或在常开开关的接通状态下，促动电压施加足够大的静电吸引力到杆上，克服杆的刚性。由于静电吸引力的结果，杆挠曲而与开关底座上的接触电极连接，从而使开关闭合。当促动电压取消时，杆将返回其自然状态而断开与接触电极的连接，从而使开关断开。一种基本的微机电开关是单刀单掷开关。杆从断开到闭合或从闭合到断开的变化具有内在不稳定性而只是在到达某一点之前是可以控制的。比如，当闭合时，由于施加到开关上的促动电压的作用，杆逐渐而可预见地变形直至到达某一点。超过这一点后将失去控制，杆的工作变得不稳定，使杆向下跳到促动电极上。这种行为对简单的通/断操作是适用的，但是如果想要避免不受控制地弹跳到促动电极上，即如果想要控制杆的运动时，通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电开关结构，包括第一开关支撑件和带有第一端及第二端的开关杆，所述开关杆的第一端支承在所述第一开关支撑件上，其特征在于，所述微机电开关结构还包括：　　　　第一移位促动电极，与所述开关杆的投影隔开，所述投影位于与所述第一移位促动电极相同的平面上。

【技术特征摘要】
SE 2001-4-2 0101183-21.一种微机电开关结构，包括第一开关支撑件和带有第一端及第二端的开关杆，所述开关杆的第一端支承在所述第一开关支撑件上，其特征在于，所述微机电开关结构还包括第一移位促动电极，与所述开关杆的投影隔开，所述投影位于与所述第一移位促动电极相同的平面上。2.根据权利要求1所述的微机电开关结构，其特征在于，所述第一移位促动电极至少部分布置在所述开关杆的第二端。3.根据权利要求1所述的微机电开关结构，其特征在于，所述第一移位促动电极至少部分与所述开关杆的纵轴平行。4.根据权利要求3所述的微机电开关结构，其特征在于，所述微机电开关结构还包括第二移位促动电极，与所述第一促动电极基本上布置在同一个平面内，所述第二移位促动电极与所述开关杆的投影隔开，至少有一部分与所述开关杆的纵轴平行，并与所述第一促动电极隔开所述开关杆的投影。5.根据权利要求3或4所述的微机电开关结构，其特征在于，所述微机电开关结构还包括第二开关支撑件，所述开关杆的第二端支承在所述第二开关支撑件上。6.根据权利要求1至5中任何一项所述的微机电开关结构，其特征在于，所述微机电开关结构还包括至少部分与所述开关杆的所述投影重合的信号电极。7.根据权利要求1至6中任何一项所述的微机电开关结构，其特征在于，所述微机电开关结构还包括至少部分与所述开关杆的所述投影重合的促动电极。8.根据权利要求1至7中任何一项所述的微机电开关结构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：P哈尔比约尔纳，
申请(专利权)人：艾利森电话股份有限公司，
类型：发明
国别省市：SE[瑞典]