下载一种微机电开关的技术资料

文档序号:3209413

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一种带有可连续控制杆的微机电开关结构。通过在靠近杆投影处但在杆投影外增设的促动电极可连续控制杆。杆垂直投影到促动电极的平面上。通过将促动电极设置在杆的旁边而不是在杆的下面,促动电极可以连续控制杆从静止位置移动到完全促动状态。...
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