晶圆运输推车制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆运输推车，包括：至少一层搁置板，搁置板的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，搁置板用于搁置晶圆盒；四个支撑柱，分别安装在搁置板的四个角上，以支撑搁置板；四个滚轮，分别安装在四个支撑柱的底部；一个可移动挡板，安装在搁置板的第一边上，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，可移动挡板打开，移动晶圆盒时，可移动挡板关闭，此时，可移动挡板垂直搁置板的表面并与第一边两侧的支撑柱活动连接；以及三个固定挡板，分别安装在搁置板的另三个边上并与所在边两侧的支撑柱固定连接，固定挡板与搁置板的表面垂直。本实用新型专利技术可以保护晶圆盒不会从推车上掉落，从而防止晶圆破裂的情况产生。从而防止晶圆破裂的情况产生。从而防止晶圆破裂的情况产生。

【技术实现步骤摘要】
晶圆运输推车


[0001]本技术涉及推车，尤其是涉及一种晶圆运输推车。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆厂晶圆的运输过程中，广泛使用推车进行运输。但推车在运输过程中如发生意外，导致推车倾斜时，晶圆盒极易从推车上掉落，导致wafer破裂。在非运输过程中，如果放置或者取出晶圆盒时出现操作员动作不当，也可能导致推车倾斜，晶圆盒极易从推车上掉落，导致晶圆破裂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆运输推车，在运输晶圆过程中或者操作员动作不当导致推车倾斜时，可以保护晶圆盒不会从推车上掉落，从而防止晶圆破裂的情况产生。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供了一种晶圆运输推车，包括：
[0005]至少一层搁置板，所述搁置板的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，所述搁置板用于搁置晶圆盒；
[0006]四个支撑柱，分别安装在所述搁置板的四个角上，以支撑所述搁置板；
[0007]四个滚轮，分别安装在四个所述支撑柱的底部；
[0008]一个可移动挡板，安装在所述搁置板的第一边上，放置晶圆盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运输推车，其特征在于，包括：至少一层搁置板，所述搁置板的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，所述搁置板用于搁置晶圆盒；四个支撑柱，分别安装在所述搁置板的四个角上，以支撑所述搁置板；四个滚轮，分别安装在四个所述支撑柱的底部；一个可移动挡板，安装在所述搁置板的第一边上，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，所述可移动挡板打开，移动晶圆盒时，所述可移动挡板关闭，此时，所述可移动挡板垂直所述搁置板的表面并与所述第一边两侧的支撑柱活动连接；以及三个固定挡板，分别安装在所述搁置板的另三个边上并与所在边两侧的支撑柱固定连接，所述固定挡板与所述搁置板的表面垂直。2.如权利要求1所述的晶圆运输推车，其特征在于，所述搁置板具有一空腔和一开口，所述开口与所述空腔连通，所述开口位于所述第一边上。3.如权利要求2所述的晶圆运输推车，其特征在于，所述可移动挡板包括挡板主体、连接块和限位杆，所述限位杆安装在所述挡板主体的一侧，所述连接块安装在所述挡板主体的与所述限位杆相对的另一侧，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，所述挡板主体和所述限位杆位于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹秉霞，郭伟，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：