下载晶圆运输推车的技术资料

文档序号:32093232

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本实用新型提供了一种晶圆运输推车,包括:至少一层搁置板,搁置板的横截面呈方形,并且具有四条边和四个角,搁置板用于搁置晶圆盒;四个支撑柱,分别安装在搁置板的四个角上,以支撑搁置板;四个滚轮,分别安装在四个支撑柱的底部;一个可移动挡板,安装在搁...
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