功率晶体管及使用它的半导体集成电路制造技术

技术编号:3208928 阅读:132 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种功率晶体管,其特征在于,包括形成在P型硅基底上的多个垂直式PNP晶体管,其中    为把P型硅基底与多个垂直式PNP晶体管彼此隔开来而形成的N↑[+]型隐埋层的单个或多个电极部分制作在功率晶体管的有源区中。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种功率晶体管及使用它的半导体集成电路。具体地说,本专利技术涉及一种功率晶体管,还有使用它的半导体集成电路,在该功率晶体管中配置有多个垂直式PNP晶体管。在传统上,已经制作了一种功率晶体管,在这种晶体管中,在半导体基底上配置着多个垂直式PNP晶体管(例如,见Japan Patent Laid-OpenPublication HEI 7-183311)。图3示出常规功率晶体管的图形平面图,而图4示出沿图3直线IV-IV所取的截面图。在这个功率晶体管中,在p型硅基底101上形成有用于把硅基底101与各垂直式PNP晶体管集电极彼此隔离开来的N+型隐埋层102;形成在N+型隐埋层102上的、且用作每个垂直式PNP晶体管集电极的P+型集电极隐埋层103;把功率晶体管与它周围器件彼此隔离开来的、围绕在N+型隐埋层102周围形成的P+型隐埋隔离层113;用N型外延生长法,形成在整个P型硅基底101表面上的N型外延层104,作为每个垂直式PNP晶体管基极区以改进晶体管特性形成的N+型基极凹层105;形成在P+型集电极隐埋层103上的p+型集电极层106;形成在P+型隐埋隔离层11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功率晶体管,其特征在于,包括形成在P型硅基底上的多个垂直式PNP晶体管,其中为把P型硅基底与多个垂直式PNP晶体管彼此隔开来而形成的N+型隐埋层的单个或多个电极部分制作在功率晶体管的有源区中。2.如权利要求1所述的功率晶体管,其特征在于,所述至少部分电极部分制作于在功率晶体管有源区上布线的、共同的发射极金属线的下面。3.如权利要求1所述的功率晶体管,其特征在于,所述该电极部分制作在N+型隐埋层上,并由用于形成欧姆接触的N+型电极层和N+型扩散层形成。4.如权利要求3所述的功率晶体管,其特征在于,所述N+型扩散层与作为多个垂直式PNP晶...

【专利技术属性】
技术研发人员:前田晃幸
申请(专利权)人:夏普株式会社
类型:发明
国别省市:

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