显示器件的制作方法技术

一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤：　　　　在基板上形成多个显示器件；　　　　形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线路，其中，通过对包括和显示器件图案按一比一合为一体的线路图案的重复图案执行曝光，从而形成所述线路；　　　　以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用薄膜晶体管(TFT)的有源矩阵型显示器件以及其制作方法。本专利技术特别涉及由在制作过程中以及检查工序完成后产生的静电以及等离子体放电引起的元件破坏的防止方法。
技术介绍
近来，对在基板(substrate)上集成形成周边电路的有源矩阵型显示器件进行了广泛的开发。上述显示器件是具有以下结构的半导体元件，即在基板上集成具有由TFT构成的显示单元的有源矩阵电路，以及同样由TFT构成的周边电路。另外，在制造方面，为了提高生产率，基板的大面积化进一步深入，近来尺寸是600mm×720mm大小的玻璃基板成为主流。可以认为基板的大面积化今后将更进一步深入。如果基板是大面积，每张基板可以制造出的显示器件也随之增多(获取多个平面)，所以可以大幅度地提高生产率。图12示出上述TFT的横截面图的一个实例。象这样由TFT构成的电路具有层叠结构。该电路在基板上，通过反复重复气相淀积形成组成该电路的各个层，以及通过反复重复形成所希望的电路图形，从而形成所希望的层叠结构。各个层的电路图案形成，一般是利用光刻蚀技术来完成。在实施光刻蚀时，经由包含电路图案的光罩(又称图罩，reticle)，对每本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤在基板上形成多个显示器件；形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线路，其中，通过对包括和显示器件图案按一比一合为一体的线路图案的重复图案执行曝光，从而形成所述线路；以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。2.根据权利要求1的制作显示器件的方法，其中，所述显示器件包括多个TFT。3.一种制作显示器件的方法，所述方法包括以下步骤在基板上形成多个显示器件；形成从所述显示器件的信号输入终端引出到所述基板边缘的线路；设置可以拆卸的导电性器具，并使其和所述基板边缘的线路接触；分离所述导电性器具和所述线路；以及将所述多个显示器件分割成单个显示器件。4.根据权利要求3的制作显示器件的方法，其中，所述导电性器具借助和在所述基板边缘的线路发...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩渊友幸，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：