静电吸盘装置用电极板和使用它的静电吸盘装置制造方法及图纸

提供一种即使对于绝缘体也具有充分的吸附力的静电吸盘装置用电极板。本发明专利技术的静电吸盘装置用电极板（３０）将一对绝缘性有机膜（３１、３２）通过绝缘性粘结剂层（３３）进行粘结，在绝缘性粘结剂层（３３）内形成电极（３４、３５），其特征在于，将绝缘性粘结剂层（３３）形成得比电极（３４、３５）厚。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及不仅对半导体器件的晶片等导体或半导体，而且还对液晶装置的玻璃基板等绝缘体，都可以良好地吸附保持的静电吸盘装置用电极板和使用它的静电吸盘装置。
技术介绍
在半导体器件的制造中，为了将晶片固定在等离子体蚀刻装置等加工装置的规定部位，而使用将晶片吸附保持的吸盘装置。作为吸盘装置，有机械式、真空式、静电式等，其中，静电吸盘装置使用简单，并具有即使在真空中也可使用的优点。现有的静电吸盘装置例如公开在专利文献1～5中，已知有用一对陶瓷基板夹置电极的结构、或者将一对绝缘性有机膜通过内包电极的绝缘性粘结剂层进行粘结的结构等。专利文献1特开平10-223742号公报专利文献2特开平5-138473号公报专利文献3特开平5-235152号公报专利文献4特开平11-163111号公报专利文献5特开2000-107969号公报近年来，在液晶装置的制造中，为了将玻璃基板和树脂基板等绝缘性基板固定在加工装置的规定部位，可使用静电吸盘装置。液晶装置用基板比半导体器件用晶片大，就大的基板来说，1m×1m以上的基板已经实用化。为了良好地吸附保持这种大型的液晶装置用基板，除了要求静电吸盘装置大型化以外，还需要更大的吸附力，但为了良好地静电吸附玻璃基板和树脂基板这样的绝缘性基板，需要施加以往之上的高电压。但是，因在现有的静电吸盘装置中使用的氧化铝等陶瓷和绝缘性粘结剂中绝缘击穿电压低而不能施加高电压，存在不能获得充分的吸附力的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于上述情况的专利技术，其目的在于提供一种即使对于液晶装置用玻璃基板等绝缘体，也具有充分吸附力的静电吸盘装置用电极板和使用它的静电吸盘装置。本专利技术人发现为了良好地吸附保持液晶装置用玻璃基板等绝缘体，则需要将绝缘性粘结剂层形成得比电极厚，于是专利技术了以下的静电吸盘装置用电极板和静电吸盘装置。即，本专利技术的静电吸盘装置用电极板，是将一对绝缘性有机膜通过绝缘性粘结剂层进行粘结，且在所述绝缘性粘结剂层内形成了电极的静电吸盘装置用电极板，其特征在于将所述绝缘性粘结剂层形成得比所述电极厚。在所述的静电吸盘装置用电极板中，所述电极的厚度优选在20μm和20μm以下。在所述的静电吸盘装置用电极板中，相邻的所述电极的间隔在2mm和2mm以下，同时在所述一对绝缘性有机膜内，吸附被吸附体侧的绝缘性有机膜的表面凹凸差优选在10μm和10μm以下。在所述的静电吸盘装置用电极板中，在所述一对绝缘性有机膜中，吸附被吸附体侧的绝缘性有机膜的厚度优选为20～150μm。在所述的静电吸盘装置用电极板中，构成所述绝缘性粘结剂层的绝缘性粘结剂优选具有电压差5kV和5kV以上的耐绝缘性。再有，所说的构成绝缘性粘结剂层的绝缘性粘结剂具有5kV和5kV以上电压差的耐绝缘性，意味以下事实在绝缘性有机膜上构图宽度为1mm、厚度为5μm的多个带状电极，以使电极间隔为1mm、合计长度为5m，并在其上形成厚10μm的绝缘性粘结剂层，而且制作粘结了绝缘性有机膜的评价用电极板，在该评价用电极板的电极上施加5kV电压差时，绝缘性粘结剂具有在电极间不产生短路的耐绝缘性。更详细地说，上述绝缘性粘结剂的耐绝缘性通过下述的评价试验(以下称为‘耐绝缘性试验’)详细地进行评价。在膜厚25μm的聚酰亚胺膜构成的绝缘性有机膜上，通过溅射形成镍衬底层后，进行镀铜处理，形成厚度5μm的导电层。接着，通过依次进行抗蚀剂涂敷、曝光、显像、蚀刻、清洗，对导电层进行构图，形成厚度5μm的多个带状电极和圆形端子。此时，如图1所示，形成将配置成条纹状的25个第1带状电极110连接到共用端子120的梳齿状的图形100、和将配置成条纹状的25条第2带状电极210连接到共用连接端子220的梳齿状图形200的两种图形，以使带状电极110和210交替配置。再有，在图1中，在绝缘性有机膜上附以标号300。在任何一个图形中，使各带状电极的宽度为1mm，长度L为100mm，构成两图形的所有带状电极的合计长度为5m。另外，使相邻的电极间隔(电极110和210的间隔)为1mm。在形成了这样的电极图形的绝缘性有机膜的电极形成面上，以使干燥后的厚度为10μm地涂敷绝缘性粘结剂后，通过干燥进行半固化，形成绝缘性粘结剂层，然后在其上粘结膜厚25μm的聚酰亚胺膜构成的绝缘性有机膜。再有，在端子120、220上不进行绝缘性粘结剂的涂敷和上侧的绝缘性有机膜的粘结，形成端子露出的状态。如以上那样制作评价用电极板，在端子120、220上施加5kV电压差。将该状态保持10分钟，检查是否发生电极间的短路。如果没有发生短路，则判定使用的绝缘性粘结剂有5kV和5kV以上电压差的耐绝缘性，如果发生短路，则判定使用的绝缘性粘结剂没有5kV和5kV以上电压差的耐绝缘性。再有，所说的5kV和5kV以上电压差指端子120和220上施加的电压差在5kV和5kV以上。例如，可列举在端子120上施加-2.5kV直流电压，在端子220上施加+2.5kV直流电压的状态，或使端子120为0，在端子220上施加+5kV直流电压的状态。本专利技术的静电吸盘装置的特征在于，在基板上粘结上述静电吸盘装置用电极板。附图的简单说明图1是说明本专利技术的绝缘性粘结剂的耐绝缘性试验的图。图2是表示本专利技术涉及的实施方式的静电吸盘装置的结构图。图3是表示本专利技术涉及的实施方式的静电吸盘装置的另一结构图。图4是表示本专利技术涉及的实施方式的静电吸盘装置的另一结构图。图5(a)、图5(b)是说明本专利技术涉及的实施例和比较例的吸附力的评价方法的图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术涉及的实施方式的静电吸盘装置的结构。图2～图4是将本实施方式的静电吸盘装置相对于电极延长方向的垂直方向上进行剖切时的剖面图。再有，将吸附被吸附体的侧定义为上侧，将其相反侧定义为下侧。如图2～图4所示，本实施方式的静电吸盘装置10将通过绝缘性粘结剂层33粘结一对绝缘性有机膜31、32，在绝缘性粘结剂层33内形成两种带状电极34、35的电极板(静电吸盘装置用电极板)30作为主体而构成，该电极板30的下面通过粘结剂层21粘结在基板20上。在本实施方式中，绝缘性有机膜32的上面成为吸附被吸附体的吸附面。带状电极34、35的平面图形与图1所示的带状电极110、210相同，被各自独立地驱动，以便可施加极性不同的电压。本实施方式的静电吸盘装置10是具有配备了可施加这种极性不同电压的多个电极的所谓双极式结构的装置。在双极式中，与单极式不同，在被吸附体上不直接通电就可以吸附保持被吸附体，所以没有对被吸附体产生影响的危险，是优选的。再有，由于只要将施加极性不同的电压的电极34、35交替配置即可，所以其图形不限定于图1所示的图形。此外，各电极的形状也不限定于带状。此外，由于只要将带状电极34、35形成在绝缘性粘结剂层33内即可，所以可以适当设计其形成位置。具体地说，如图2所示，也可形成在下侧的绝缘性有机膜31的上面，或如图4所示，也可形成在上侧的绝缘性有机膜32的下面。此外，如图3所示，也可以将上下绝缘性有机膜31及32隔开那样来形成。作为绝缘性有机膜31、32的材质没有特别限定，例如可列举聚对苯二甲酸乙二酯等聚酯类、聚乙烯等聚烯烃类、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚砜、对聚苯硫、聚醚酮、聚醚酰亚胺、三醋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电吸盘装置用电极板，其是一对绝缘性有机膜通过绝缘性粘结剂层被粘结，在所述绝缘性粘结剂层内形成电极的静电吸盘装置用电极板，其特征在于：将所述绝缘性粘结剂层形成得比所述电极厚。

【技术特征摘要】
JP 2003-1-31 024658/031.一种静电吸盘装置用电极板，其是一对绝缘性有机膜通过绝缘性粘结剂层被粘结，在所述绝缘性粘结剂层内形成电板的静电吸盘装置用电极板，其特征在于将所述绝缘性粘结剂层形成得比所述电极厚。2.如权利要求1所述的静电吸盘装置用电极板，其特征在于，所述电极的厚度在20μm和20μm以下。3.如权利要求1或权利要求2所述的静电吸盘装置用电极板，其特征在于，相邻的所述电极的间隔在2mm和2mm以下，并且在所述一对绝缘性有机...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛武志，栃平顺，长谷川雄一，山本敏之，堀真寿，今西章夫，
申请(专利权)人：株式会社巴川制纸所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]