【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种,属于传感器技术或半导体传感器制造领域。
技术介绍
半导体气体传感器是指将半导体材料加上电极和加热电阻制备而成的气敏元件。由于环境气体成分的变化引起半导体气体传感器的电性能改变,通过测量半导体气体传感器的电阻而检测环境中存在的气体的种类和浓度。众所周知,由于工业过程的需要和改善人民生活水平的要求,越来越多的场合需要监测和控制环境湿度。传统的湿度传感器存在着响应速度慢,灵敏度低,不稳定等问题。这与其使用得传感器件的主要部件有关。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种高灵敏度,快速响应的钨酸锌湿度传感器件。本专利技术的一种,该方法的特征在于具有如下工艺程序和步骤a.将氧化锌和三氧化钨以1∶0.2-1的比例混合,混合物放置于球磨机中研磨12小时以达到完全均匀;b.然后添加2%的十六烷基醇,加入少量无水乙醇,在研钵中继续研磨2小时;c.将上述混合物在100Mpa的压力下压制成直径10毫米,厚5毫米的圆片,同时在圆片内植入两根金丝作为电极引线;d.将该圆片放在管式炉中进行热处理,首先以10℃/分钟的升温速度升至400℃,然后以2℃/分钟的升温速度升至700℃,最后以1℃/分钟的升温速度升至800℃,并保持12小时。最终得到钨酸锌湿度传感器件的主要部件。上述的氧化锌和三氧化钨的最佳混合比例为1∶0.4。本专利技术的,采用球磨工艺混合均匀氧化锌和三氧化钨,经过控制升温热处理程序也是一个重要的关键所在,这有利于形成高灵敏度,快速响应的湿度传感器件。本专利技术的优点是该方法制备工艺简单,操作方便,成本低廉,能制成高灵敏度、快速响应的传感器部件附图说明图 ...
【技术保护点】
一种钨酸锌湿度传感器件的制造方法,该方法的特征在于具有如下工艺程序和步骤:a.将氧化锌和三氧化钨以1∶0.2-1的比例混合,混合物放置于球磨机中研磨12小时以达到完全均匀;b.然后添加2%的十六烷基醇,加入少量无水乙醇,在研 钵中继续研磨2小时; c.将上述混合物在100Mpa的压力下压制成直径10毫米,厚5毫米的圆片,同时在圆片内植入两根金丝作为电极引线;d.将该圆片放在管式炉中进行热处理,首先以10℃/分钟的升温速度升至400℃,然后以2℃/ 分钟的升温速度升至700℃,最后以1℃/分钟的升温速度升至800℃,并保持12小时。最终得到钨酸锌湿度传感器件的主要部件。
【技术特征摘要】
1.一种钨酸锌湿度传感器件的制造方法,该方法的特征在于具有如下工艺程序和步骤a.将氧化锌和三氧化钨以1∶0.2-1的比例混合,混合物放置于球磨机中研磨12小时以达到完全均匀;b.然后添加2%的十六烷基醇,加入少量无水乙醇,在研钵中继续研磨2小时;c.将上述混合物在100Mpa的压力下压制成直径10毫米,厚5毫米的圆片,同时在圆片内植入两根金丝...
【专利技术属性】
技术研发人员:焦正,吴明红,顾建忠,李珍,王艳丽,
申请(专利权)人:上海大学,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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