【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及下述的，该压电/电致伸缩器件包括陶瓷基体，具有相对的一对薄板部；支承这些薄板部的固定部；突起部，该突起部位于上述一对薄板部的前端部分。
技术介绍
在采用压电/电致伸缩层的促动元件，传感元件等的压电/电致伸缩器件中，在陶瓷基体上，通过比如，印刷方式，形成由一个电极层形成的布线图案，另外在其上，通过印刷，形成压电/电致伸缩层后，对其进行烘焙，将其固定，然后，形成由另一电极层形成的布线图案(比如，参照JP特开2001-320103号文献)。另外，通过相对布线图案的电信号的供给，在压电/电致伸缩层上，外加电场，其结果是，可用作使压电/电致伸缩层发生位移的促动元件，并且可用作从布线图案，取出对应于施加于该压电/电致伸缩层上的压力而产生的电信号的传感元件。此外，本申请人提出有下述的压电/电致伸缩器件(比如，参照EP1089357A2)，其中，可使压电/电致伸缩器件的使用期限延长，提高压电/电致伸缩器件的处理性和活动部的部件的安装性，或压电/电致伸缩器件的固定性。在该压电/电致伸缩器件中，可通过相对较低的电压而使活动部发生较大位移，可提高器件，特别是，活动部的...
【技术保护点】
一种压电／电致伸缩器件（１０）的制造方法，该压电／电致伸缩器件（１０）包括相对的一对薄板部（１２ａ，１２ｂ）；支承这些薄板部（１２ａ，１２ｂ）的固定部（１４）；活动部（２２ａ，２２ｂ），该活动部（２２ａ，２２ｂ）位于上述一对薄板部（１２ａ，１２ｂ）的前端部分，其特征在于该制造方法包括下述步骤：对在之后构成上述薄板部（１２ａ，１２ｂ）的第１陶瓷坯片（６０Ａ，６０Ｂ）的主面，进行至少１次的厚膜形成处理，形成在之后形成活动部（２２ａ，２２ｂ）的突起部（７２）；将上述 第１陶瓷坯片（６０Ａ，６０Ｂ）与在之后构成上述固定部（１４）的第２陶瓷坯片（６４）叠...
【技术特征摘要】
JP 2001-9-11 275598/20011.一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法，该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a，12b)；支承这些薄板部(12a，12b)的固定部(14)；活动部(22a，22b)，该活动部(22a，22b)位于上述一对薄板部(12a，12b)的前端部分，其特征在于该制造方法包括下述步骤对在之后构成上述薄板部(12a，12b)的第1陶瓷坯片(60A，60B)的主面，进行至少1次的厚膜形成处理，形成在之后形成活动部(22a，22b)的突起部(72)；将上述第1陶瓷坯片(60A，60B)与在之后构成上述固定部(14)的第2陶瓷坯片(64)叠置，形成陶瓷叠置坯体(50)；对上述陶瓷叠置坯体(50)进行烘焙，使其形成一体，形成陶瓷叠层体(52)；在上述陶瓷叠层体(52)上，形成压电/电致伸缩元件(18a，18b)，对其进行烘焙，然后，切除不需要的部分，制作压电/电致伸缩器件(10)。2.根据权利要求1所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于上述突起部(72)的宽度(L)在30μm以上。3.根据权利要求1或2所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于上述突起部(72)的厚度(H)在2～50μm的范围内。4.根据权利要求1～3中的任何一项所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于当上述突起部(72)的周部的厚度由H1表示，上述突起部(72)的中间的最厚的部分的厚度由H2表示时，则H1/H2＝1/3～3/4。5.根据权利要求1～3中的任何一项所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于当上述突起部(72)的中间的厚度由H1表示，上述突起部(72)的周部的最厚的部分的厚度由H2表示时，则H1/H2＝1/3～3/4。6.根据权利要求5所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于当用于形成上述突起部(72)的厚度(H)基本均匀的场合的突起部(72)的材料的粘度为A(万cps)时，通过高于上述粘度A的粘度的材料，形成上述突起部(72)。7.根据权利要求1～5中的任何一项所述的压电/电致伸缩器件的制造方法，其特征在于在上述第1陶瓷坯片(60A，60B)上，形成上述突起部...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田幸司，柴田和义，伊藤智辉，高桥史武，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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